[发明专利]压电组合物、压电元件和溅射靶材

说明书

本发明的目的在于提供在‑40℃～85℃的温度区域中压电特性的温度变化率小的压电组合物以及具备它们的压电元件、或者溅射靶材。所述压电组合物以(K_1‑x‑yNa_xLi_y)_q(Nb_1‑zTa_z)O₃…(1)(0.20≤x≤0.80，0.02≤y≤0.10，0.01≤z≤0.30，0.800≤q≤1.050)、SrZrO₃…(2)、Ba(Nb_1‑wTa_w)₂O₆…(3)(0.01≤w≤0.30)、(Bi_0.5Na_0.5)TiO₃和/或(Bi_0.5K_0.5)TiO₃…(4)、(1‑m‑n‑p)A+mB+nC+pD…(5)(A表示(1)所示的复合氧化物，B表示(2)所示的复合氧化物，C表示(3)所示的复合氧化物，D表示(4)所示的复合氧化物，0.04≤m≤0.07，0<n≤0.010，0.001≤p≤0.020)为主成分。

技术领域

本发明涉及压电组合物和具备压电组合物的压电元件、或者溅射 靶材。

背景技术

利用了压电组合物的驱动器是利用了施加电场时会产生机械应变 和应力这样的压电现象而成的。该驱动器能够高精度地得到微小位移， 并且具有产生应力大等的特征，例如可以用于精密机床或光学装置的 定位。作为驱动器中使用的压电组合物，可以列举锆钛酸铅 (Pb(Zr,Ti)O₃)。

然而，由于锆钛酸铅类压电组合物包含很多Pb，因此，最近存在 由酸雨导致的Pb溶出等对地球环境造成不良影响的问题。因此，期望 替代锆钛酸铅类压电组合物而开发不含有Pb的非铅类压电组合物。

例如，在专利文献1和2中，公开了居里温度高达350℃以上且机 电耦合系数k_r也优异的由铌酸钠钾锂构成的非铅类压电组合物。

另外，在专利文献3和4中，作为表现比较大的位移量的非铅类 压电组合物，公开了铌酸钠钾锂类的压电组合物、以及含有钨青铜型 氧化物和钙钛矿型氧化物的压电组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭49-125900号公报

专利文献2：日本特公昭57-6713号公报

专利文献3：国际公开第2008/152851号

专利文献4：日本专利第4513948号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在民生、工业用电子设备所使用的驱动器或传感器等的用途中， 要求特别是-40℃～85℃的温度区域中压电特性的温度变化率小。

然而，在专利文献1～4的任一者中，尽管在非铅类压电组合物中 得到优异的压电特性，但是对于压电特性相对于温度的变化，都没有 进行研究。

本发明是鉴于上述的状况而完成的，其目的在于提供具有优异的 压电特性的环境友好型的压电组合物，并且在-40℃～85℃的温度区域 中压电特性的温度变化率小的压电组合物以及具有它们的压电元件或 者溅射靶材。

解决技术问题的手段

本发明人为了解决上述技术问题，进行具有优异的压电特性的环 境友好型的压电组合物，在-40℃～85℃的温度区域中压电特性的温度 变化率小的压电组合物的验证，发现了与现有的组成范围不同的压电 组合物。