[发明专利]扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法与装置

权利要求书

1.扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法，其特征是，包括以下步骤：

将待加工元件在二维空间上的二值图像沿水平和垂直方向上分割成等大的网状像素点，像素点各边长均为D_pp，计算每个像素点对应的曝光时间和曝光强度；

根据扫描工作台扫描行两端各自的非曝光区长度、待加工元件在扫描直写曝光方向上的尺寸以及扫描工作台的加速度大小规划扫描工作台的速度曲线；

根据速度曲线和像素点的大小D_pp确定处于加速段、匀速段和减速段的像素点，并计算待加工元件的每一扫描行对应的各个像素点的坐标位置；

对边界全部或部分位于加速段或减速段且曝光强度不为零的像素点对应的曝光数据进行补偿；

以声光调制器最小分辨力为单位量化各个像素点的曝光强度；分区存放像素点的位置信息和曝光强度，利用曝光强度数据驱动声光调制器调制直写激光强度实现对光刻胶变剂量曝光，在扫描工作台的加速、减速以及匀速运动过程中均对工作台上的光刻胶进行曝光直写。

2.如权利要求1所述的扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法，其特征是，分区存放像素点的位置信息和曝光强度时，将待加工元件的每一扫描行上各像素点曝光强度依曝光先后顺序按加速段、匀速段和减速段三个区域分类存放到计算机中,同时存储的还有各区域首位曝光强度对应的像素点的中心坐标位置，以及各区域存放的曝光数据对应的像素点个数。

3.如权利要求1所述的扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法，其特征是，根据扫描工作台运动一个位移分辨力S_pp、扫描工作台工作加速度a、时间Δt来计算扫描工作台扫描行两端各自的非曝光区长度S₀，其中，扫描工作台以匀速V_con运动一个位移分辨力S_pp所需要的时间为ΔT，I_pb是用声光调制器最小分辨力调制的曝光强度，网状像素点对应的光强I_cv，Δt是以光强I_pb曝光光刻胶且曝光效果与光强I_cv曝光光刻胶ΔT时间一样时所需要的时间。

4.如权利要求1或3所述的扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法，其特征是，速度曲线的规划方法如下：

首先判断与待加工元件在扫描直写曝光方向上的尺寸L之间的大小关系,当时，则扫描工作台工作时以加速度a加速运动，当速度达到V_max时，再以加速度a减速运动直到扫描工作台速度为零，得到对应的速度曲线；

当时，则扫描工作台工作时以加速度a加速运动，当速度达到V_con时再匀速运动距离，然后以加速度a减速运动直到扫描工作台速度为零，得到对应的速度曲线；

当时，根据方程得

5.如权利要求1所述的扫描工作台各速度段进行激光直写二值图案的方法，其特征是，确定处于加速段、匀速段和减速段的像素点个数时：

当时，计算的值，设所得商的整数部分为N，如果所得商没有小数部分，则扫描行上从直写曝光起点到曝光终点只有依次对应的加速段、减速段的像素个数分别为：N个，N个；如果所得商有小数部分，则扫描行上从曝光起点到曝光终点只有依次对应的加速段、同时处于加速段和减速段、减速段的像素个数分别为：N个，1个，N个；

当时，计算的值，设所得商的整数部分为N，如果所得商没有小数部分，则扫描行上从直写曝光起点到曝光终点只有依次对应的加速段、匀速段、减速段的像素个数分别为：N个，(L/D_pp-2N)个，N个；如果所得商有小数部分，则扫描行上从直写曝光起点到曝光终点只有依次对应的加速段、同时处于加速段和匀速段、匀速段、同时处于匀速段和减速段、减速段的像素个数分别为：N个，1个，(L/D_pp-2N-2)个，1个，N个。