[发明专利]N型电池硼扩散工艺在审
| 申请号： | 201510620799.9 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN105304753A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 汪已琳;刘良玉;杨晓生;曹骞 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/223 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所 43008 | 代理人： | 周长清;黄丽 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电池 扩散 工艺 | ||
1.一种N型电池硼扩散工艺，包括以下步骤：
（1）抽气：将清洗制绒后的硅片置于扩散炉炉管内，并抽气至管内呈负压状态；
（2）硼扩散沉积：将温度升至硼扩散沉积温度设定值后，通入氮气、硼源和氧气进行硼扩散沉积；
（3）推阱：停止硼源和氧气的通入，继续通入氮气，将温度升至推阱温度设定值进行推阱；
（4）取样：升压降温，取样，完成扩散过程。
2.根据权利要求1所述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，所述步骤（1）中，抽气至管内压力为180mbar～220mbar。
3.根据权利要求2所述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，所述步骤（2）中，所述硼扩散沉积温度设定值为840℃～860℃，沉积时间为5min～7min。
4.根据权利要求3所述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，所述步骤（3）中，所述推阱温度设定值为910℃～930℃，所述推阱的时间为8min～10min。
5.根据权利要求1～4任一项所述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，所述步骤（2）中，所述硼源为BBr3，所述氮气流量为2000sccm～3000sccm，所述硼源流量为600sccm～800sccm，所述氧气流量为1000sccm～1200sccm。
6.根据权利要求1～4任一项所述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，所述步骤（3）中，通入氮气的流量为2000sccm～3000sccm。
7.根据权利要求1～4任一项所述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，在步骤（1）和步骤（2）之间，还包括扩散前氧化。
8.根据权利要求7述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，所述扩散前氧化的工艺参数为：氧化温度800℃～820℃，氧化时间500s～600s，氮气流量2000sccm～3000sccm，氧气流量1000sccm～1200sccm。
9.根据权利要求1～4任一项所述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，在步骤（3）和步骤（4）之间，还包括扩散后氧化。
10.根据权利要求9述的N型电池硼扩散工艺，其特征在于，所述扩散后氧化的工艺参数为：氧化温度910℃～930℃，氧化时间400s～500s，氮气流量2000sccm～3000sccm，氧气流量1000sccm～1200sccm。
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