[发明专利]一种半导体设备等离子腔体用电子匹配器在审
| 申请号： | 201510622763.4 | 申请日： | 2015-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN106558467A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 吕欣 | 申请（专利权）人： | 沈阳拓荆科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)21229 | 代理人： | 甄玉荃 |
| 地址： | 110179 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体设备 等离子 体用 电子 配器 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳拓荆科技有限公司，未经沈阳拓荆科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510622763.4/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：保险丝盒
- 下一篇：利用等离子体点源的阵列处理工件的等离子体反应器
