[发明专利]激光等离子辉光放电试验装置

权利要求书

1.一种激光等离子辉光放电试验装置，包括一真空容器，以及设于该真空容器外部的进气装置，其特征在于：进一步包括设于该真空容器内部的激光扩束装置和激光等离子体发生装置，该真空容器包括一壳体、设于壳体上的若干法兰孔、真空密封法兰和气体关闭阀，该真空容器还包括接地引线，该激光扩束装置包括一第一聚焦透镜，第二聚焦透镜，及设于第一聚焦透镜与第二聚焦透镜之间的激光扩束器，和用于支撑该第一聚焦透镜、第二聚焦透镜和激光扩束器的移动平台，该第一聚焦透镜包括设于右侧的第一双凸透镜，以及设于该第一双凸透镜左侧的第一凸透镜，该第一双凸透镜与该第一凸透镜通过镜片粘合剂粘合而成，该第一双凸透镜与该第一凸透镜的外径相同，该第二聚焦透镜包括设于右侧的第二凸透镜，以及设于该第二凸透镜左侧的第三凸透镜，该第二凸透镜与该第三凸透镜通过镜片粘合剂粘合而成，该第二凸透镜与该第三凸透镜的结构相同、外径相等，该激光等离子体发生装置包括一阴极引线，用于固定该阴极引线的第一聚四氟乙烯支座、放电屏蔽石英管和第二聚四氟乙烯支座，用于分别连接该阴极引线两端的负高压引线帽子和空心阴极，该激光等离子体发生装置还包括阳极，该进气装置包括一储气罐。

2.根据权利要求1所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该第一聚焦透镜的外径小于该第二聚焦透镜的外径。

3.根据权利要求2所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该第一双凸透镜包括朝向该壳体的裸凸面以及与该裸凸面相对且朝向该第一凸透镜的粘合凸面，该裸凸面的曲率半径大于该粘合凸面的曲率半径。

4.根据权利要求3所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该第一凸透镜包括朝向该激光扩束器右侧的裸凸面以及与该裸凸面相对且朝向该第一双凸透镜的粘合凹面，该裸凸面与该粘合凹面的曲率半径相等。

5.根据权利要求4所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该第二凸透镜包括朝向该激光扩束器的裸凸面以及与该裸凸面相对且朝向该第三凸透镜的粘合凹面，该裸凸面与该粘合凹面的曲率半径相等。

6.根据权利要求1所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该真空容器内部设有三个激光扩束装置，在该真空容器的赤道平面上该三个该激光扩束装置之间呈120度。

7.根据权利要求1所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该放电屏蔽石英管为空心圆柱状，长度小于该真空容器的半径，外径与该法兰孔相等，空厚为3mm。

8.根据权利要求1所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该空心阴极为筒形，采用钼或镍点焊而成，该阳极为一圆形铝合金平板，外径为100mm，厚度为5-6mm，该阳极与该空心阴极之间的距离为10cm。

9.根据权利要求1所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该储气罐存储的惰性气体为氖氩混合气体，充气压强为40Pa，放电电压小于500V。

10.根据权利要求1所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，该激光等离子体发生装置所用电源为负高压电源，该负高压电源为直流高压电源，电压调节范围：-100V至-1000V，电流范围：<2A。

11.根据权利要求1所述的激光等离子辉光放电试验装置，其特征在于，所有引线的裸露部分都进行烧玻珠处理，防止引起放电。