[发明专利]基于铜(I)离子的用于白青铜的不含氰化物的电镀浴有效
申请号: | 201510624365.6 | 申请日: | 2015-09-25 |
公开(公告)号: | CN105463528B | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | A·福伊特;J·格拜;M·克洛斯 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
主分类号: | C25D3/56 | 分类号: | C25D3/56;C25D3/58 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 陈哲锋,胡嘉倩 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 离子 用于 青铜 氰化物 电镀 | ||
1.一种电镀浴,其包含一种或多种铜(I)离子源、一种或多种合金锡离子源、任选地一种或多种合金银离子源、一种或多种具有下式的化合物:
X-S-Y(I)
其中X和Y可以相同或不同并且可以是经取代或未经取代的酚基、HO-R-或-R'S-R"-OH,其中R、R'和R"可以相同或不同并且是具有1到20个碳原子的直链或支链亚烷基;和一种或多种四唑,其中所述电镀浴中所述一种或多种四唑比所述铜(I)离子的摩尔比是≥1,并且所述一种或多种四唑比所述一种或多种式(I)化合物的摩尔比是0.05到4,所述电镀浴是不含氰化物的。
2.根据权利要求1所述的电镀浴,其中X和Y不同并且是HO-R-或-R'-S-R"-OH,并且R、R'和R"可以相同或不同。
3.根据权利要求1所述的电镀浴,其中所述一种或多种四唑具有下式:
其中M是氢、NH4、钠或钾,并且R1是经取代或未经取代的直链或支链(C2-C20)烷基或经取代或未经取代的(C6-C10)芳基。
4.一种电镀方法,其包含:
a)使衬底与电镀浴接触,所述电镀浴包含一种或多种铜(I)离子源、一种或多种合金锡离子源、任选地一种或多种合金银离子源、一种或多种具有下式的化合物:
X-S-Y(I)
其中X和Y可以相同或不同并且可以是经取代或未经取代的酚基、HO-R-或-R'S-R"-OH,其中R、R'和R"可以相同或不同并且可以是具有1到20个碳原子的直链或支链亚烷基;和一种或多种四唑,其中所述电镀浴中所述一种或多种四唑比所述铜(I)离子的摩尔比是≥1,并且所述一种或多种四唑比所述一种或多种式(I)化合物的摩尔比是0.05到4,所述电镀浴是不含氰化物的;和
b)在所述衬底上电镀铜/锡合金或任选地铜/锡/银合金。
5.根据权利要求4所述的方法,其中X和Y不同并且是HO-R-或-R'-S-R"-OH,并且R、R'和R"可以相同或不同。
6.根据权利要求4所述的方法,其中所述一种或多种四唑具有下式:
其中M是氢、NH4、钠或钾,并且R1是经取代或未经取代的直链或支链(C2-C20)烷基或经取代或未经取代的(C6-C10)芳基。
7.根据权利要求4所述的方法,其进一步包含在所述铜/锡合金或所述铜/锡/银合金上电镀银、金、钯或铬的精饰层。
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