[发明专利]分光分析装置、以及分光分析装置的校正方法有效
申请号: | 201510624957.8 | 申请日: | 2015-09-25 |
公开(公告)号: | CN105466560B | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 樱井和徳;笠原広和 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01J3/42 | 分类号: | G01J3/42;G01N21/31 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光 分析 装置 以及 校正 方法 | ||
本发明涉及分光分析装置以及分光分析装置的校正方法。分光分析装置(1)具备:测定测定对象的分光光谱的分光测定部;存储记录有与已知成分对应的固有波长的参照数据的存储部(21);利用参照数据指定与测定到的分光光谱中的固有波长对应的特征点的特征指定部(224);以及将分光光谱中的特征点的波长作为固有波长进行校正的波长校正部(226)。
相关申请的交叉参考
本申请基于并要求于2014年9月30日提交的日本专利申请第2014-200021号的优先权权益,并且其全部内容结合于此作为参考。
技术领域
本发明涉及分光分析装置以及分光分析装置的校正方法。
背景技术
现有技术的分光分析装置中,已知有有一种由于环境变化等而在分光系统中产生波长偏离时进行波长校正处理的装置(例如,参见专利文献1)。
专利文献1记载的装置在进行波长校正处理时,将波长校正用滤波器设在光路上,执行用于校正波长的吸收光谱测定。而且,检测测定到的吸收光谱的峰值波长,指定对应于该峰值波长的衍射光栅的角度。
然而现有技术中,在分光分析装置的校正处理中采用了上述专利文献1中记载的波长校正用滤波器或白色板等波长校正板等的、已知反光率或透光率的标准校正物。但是,如专利文献1那样,在装置中设置波长校正用滤波器时,存在装置结构复杂化的问题,并且,当采用波长校正板时,测定时需要设置波长校正板作为拍摄对象,因此还存在校正处理变得繁琐的问题。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开平10-153544号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构简单且能够容易地进行波长校正的分光分析装置、以及分光分析装置的校正方法。
根据本发明的一个应用例的分光分析装置的特征在于,包括:用于测定测定对象的分光光谱的分光测定部;用于存储与已知成分对应的固有波长的存储部;用于指定所述分光光谱中的对应于所述固有波长的特征点的特征指定部;以及,用于将所述分光光谱中的所述特征点的波长作为所述固有波长进行校正的波长校正部。
在本应用例中,指定相当于由分光测定部测定出的测定对象的分光光谱中的、已知成分的固有波长的特征点,并且以该特征点为固有波长校正分光光谱的波长。另外,已知成分的固有波长是指例如吸收波长、反射波长、荧光波长等能够指定成分的特定的波长。
从而,如果测定到测定对象的分光光谱,则能够利用存储在存储部中的固有波长进行波长校正。因此,无需利用白色基准板等波长校正板即可容易地执行波长校正。
优选地,在本应用例的分光分析装置中,还包括用于计算类似所述固有波长与所述特征点的波长的关系的校正函数的校正函数计算部,所述波长校正部基于所述校正函数校正所述分光光谱的各波长。
在本应用例中,计算表示固有波长与特征点的波长的关系的校正函数,并基于该校正函数校正分光光谱中的各波长。从而,不仅能够对特征点的波长进行波长校正,还可以对测定到的分光光谱的较广波长区域内进行恰当的波长校正。
优选地,在本应用例的分光分析装置中,所述分光测定部在从所述固有波长起的指定的波长区域内,以第一波长间隔检测来自所述测定对象光的光量,在所述波长区域之外,以比所述第一波长间隔长的第二波长间隔检测来自所述测定对象的光的光量,以测定所述分光光谱。
在本应用例中,设定固有波长附近的指定波长区域内的光量的测定间隔(第一波长间隔)比波长区域外的光量的测定波长间隔(第二波长间隔)短。从而,能够提高分光光谱中的固有波长附近的、出现特征点的部分的光谱的测定精度,能够高精度地检测(指定)特征点。并且,对于远离固有波长的波长区域,以第二波长间隔测定光量,从而能够缩短测定时间。
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