[发明专利]一种阳光选择滤光膜系的三银节能玻璃沉积方法

权利要求书

1.一种阳光选择滤光膜系的三银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：在玻璃基体的表面依次沉积阳光减反膜系、阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、第一单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、第三膜层附着力增强膜系、第二单银低辐射膜系、第四膜层附着力增强膜系、第三可见光透过增强膜系、第五膜层附着力增强膜系、第三单银低辐射膜系、第六膜层附着力增强膜系、第四可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；

在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材；调节玻璃的传送速度为3～8m/min；每对阴极上所施加的功率为20～60kw，施加在靶材上的电流为50～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％。

2.根据权利要求1所述的阳光选择滤光膜系的三银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：在薄膜正常生产溅射过程中，调节玻璃的传送速度为3～8m/min。

3.根据权利要求2所述的阳光选择滤光膜系的三银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：在薄膜正常生产溅射沉积阳光减反膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，此时所加入的工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述阳光减反膜系由金属氧化物和金属氟化物组成。

4.根据权利要求3所述的阳光选择滤光膜系的三银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：在薄膜正常生产溅射沉积阳光选择滤光膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述阳光选择滤光膜系由金属氧化物和金属氟化物组成。

5.根据权利要求4所述的阳光选择滤光膜系的三银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：在薄膜正常生产溅射沉积功能连接转换膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为30～40kw，施加在靶材上的电流为75～100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的除氧气以外的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述功能连接转换膜系由金属氧化物和金属硫化物组成。

6.根据权利要求5所述的阳光选择滤光膜系的三银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：在薄膜正常生产溅射沉积第一可见光透过增强膜系、第二可见光透过增强膜系、第三可见光透过增强膜系和第四可见光透过增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；所述第一可见光透过增强膜系、第二可见光透过增强膜系、第三可见光透过增强膜系、第四可见光透过增强膜系均为透明导电金属氧化物。