[发明专利]一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法

权利要求书

1.一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：所述阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃从内到外依次为玻璃基体、阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；

在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，调节玻璃的传送速度为3～8m/min；每对阴极上所施加的功率为20～60kw，施加在靶材上的电流为50～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％。

2.根据权利要求1所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射过程中，调节玻璃的传送速度为3～8m/min。

3.根据权利要求2所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积阳光选择滤光膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述阳光选择滤光膜系由金属氧化物或金属氟化物组成。

4.根据权利要求3所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积功能连接转换膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为30～40kw，施加在靶材上的电流为75～100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述功能连接转换膜系由金属氧化物和金属硫化物组成。

5.根据权利要求4所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；所述第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系为透明导电金属氧化物。

6.根据权利要求5所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20～30kw，施加在靶材上的电流为50～75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm；所述第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。

7.根据权利要求6所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射单银低辐射膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20～30kw，施加在靶材上的电流为50～75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm；所述单银低辐射膜系由银和其他金属组成，所述其他金属为铬、镍或钛。

8.根据权利要求7所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积色彩调制膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述色彩调制膜系由金属氧化物、非金属氧化物、金属硫化物和金属氮化物组成。

9.根据权利要求8所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积表面覆盖膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；所述表面覆盖膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。