[发明专利]光学滤波器器件、光学模块以及电子设备

说明书

本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率下降的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。光学滤波器器件(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有彼此相对的一对反射膜和作为设有一对反射膜中任一反射膜的基板的固定基板(51)；底座(620)，固定基板(51)固定于底座(620)；以及固定部件(624)，将固定基板(51)的一处固定于底座(620)，其中，固定基板(51)的表面中的除被固定部件(624)固定以外的面与底座(620)隔着间隙(间隙(CL1))而配置。

技术领域

本发明涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。

背景技术

现有技术中，已知有将干涉滤波器容纳于框体内的光学滤波器器件，干涉滤波器中，在一对基板的彼此相对的面上隔着规定的间隙而分别相对配置有反射膜(例如参照专利文献1)。

在专利文献1记载的光学滤波器器件中，框体具备底座基板，干涉滤波器通过固定部件固定于底座基板。干涉滤波器的基板在与底座基板相对的相对面的一处粘接固定于该底座基板。

在该光学滤波器器件中，例如在使用粘接剂进行了粘接固定的情况下，与粘接基板的相对面的大致整面的构成相比，也能够使从粘接剂受到的应力变小。即，基板的相对面的粘接面积越小，越能抑制来自固化时收缩的粘接剂的拉应力和由于基板与底座基板的热膨胀系数差而产生的应力的影响。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-167701号公报

发明内容

然而，由于干涉滤波器在与底座基板接触的状态下在一处被固定于该底座基板，因此，当外部干扰等引发的振动施加于了光学滤波器器件时，振动有可能经由底座基板而传递至该干涉滤波器，使干涉滤波器的分辨率降低。例如，有时由于被传递有振动的干涉滤波器以固定位置为中心发生振动，从而使反射膜间的间隙尺寸变动。另外，有时由于干涉滤波器发生振动而使基板产生形变，从而使沿着反射面的面内的上述间隙尺寸的均匀性下降。这样，如果间隙尺寸发生变动或面内均匀性下降，则干涉滤波器的分辨率将会下降。

本发明的目的在于，提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。

本发明的一应用例所涉及的光学滤波器器件的特征在于，具备：干涉滤波器，具有彼此相对的一对反射膜和设有所述一对反射膜中任一反射膜的基板；底座部，所述基板固定于所述底座部；以及固定部件，将所述基板的一处固定于所述底座部，所述基板的表面中的除被所述固定部件固定的部分以外的部分与所述底座部隔着间隙而配置。

本发明的一应用例所涉及的光学滤波器器件通过固定部件将干涉滤波器的基板的一处固定于底座部。而且，基板表面中的除固定部件固定的部分以外的部分与底座部隔着间隙而配置。

在此，在一处固定基板的情况下，例如有时会因于外部干扰的影响而使干涉滤波器的基板振动。具体而言，可例示以固定部件的固定位置为固定端、以离固定端最远的位置(最远部)为振幅最大的自由端的在基板厚度方向的固有振动。

在本应用例中，虽然通过固定部件在一处固定基板，但由于基板表面的固定部分以外的部分未与底座部接触，因而能够抑制由外部干扰引起的振动从底座部传递至基板。因此，能够抑制由于外部干扰的影响而导致的上述固有振动等振动的发生。因此，能够抑制由上述振动所引起的基板的形变，能够抑制由于该基板的形变所造成的干涉滤波器的分辨率降低。

在本应用例的光学滤波器器件中，优选，所述固定部件固定沿着所述基板的厚度方向的侧面。

在本应用例中，固定部件在一处固定沿着基板的厚度方向的侧面。