[发明专利]行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测试方法

权利要求书

1.一种行波管用微型溅射离子泵的抽速装置，其特征在于，它包括：充气室(1)、与充气室(1)相连的测试室(2)，与测试室(2)相连的第一阀门(3)，与第一阀门(3)相连的机械泵(4)，与机械泵相连的第二阀门(5)，与第二阀门(5)相连的分子泵(6)；

所述的充气室(1)和测试室(2)均连接有电离计(7)；

所述的测试室(2)与微型溅射离子泵(8)通过排气管(9)相连；

所述的充气室(1)上连接有充气管(10)。

2.根据权利要求1所述的行波管用微型溅射离子泵的抽速装置，其特征在于，充气室(1)与测试室(2)之间安装有标准流导C为1.31×10^-3l/s的管道(11)。

3.根据权利要求1或2所述的行波管用微型溅射离子泵的抽速装置，其特征在于，所述的充气室(1)与测试室(2)均由不锈钢制成的直径为50mm，长度为150mm的腔体。

4.行波管用微型溅射离子泵的抽速测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)首先启动机械泵(4)，待测试室(2)内的真空度小于10Pa时，启动分子泵(6)进行抽气；同时对充气室(1)，测试室(2)和微型溅射离子泵(8)进行烘烤；

2)冷却至室温，通过充气管(9)将干燥氮气充入充气室(1)，使测试室(2)的压强稳定在1×10^-3Pa，并在此压强下使微型溅射离子泵(8)工作100～120min，以稳定微型溅射离子泵(8)的抽气能力；

3)开启溅射离子泵(8)，直到测试室(2)的压强在5min内变化不超过5％，即系统的本底压强；

4)调节氮气充气量，使测试室(2)的压强从1×10^-4～1×10^-2Pa由低到高逐步增加气量，并在每个数量级选取三个点，每个点上的充气室(1)和测试室(2)的压强指示值观察5min，其数值变化不超过5％；

5)根据公式微型泵的抽速为：

计算行波管用微型溅射离子泵的抽速；

其中式中Cp为排气管(9)的流导；

式中：d为排气管直径，L为排气管长度，单位为mm；

式中：S为离子泵对测试室(2)的抽速，P为₁充气室压强和P₂为测试室的压强，C为标准流导，值为1.31×10^-3L/s。

5.根据权利要求4所述的行波管用微型溅射离子泵的抽速测试方法，其特征在于，步骤1)首先启动机械泵(4)，待测试室(2)内的真空度小于10Pa时，启动分子泵(6)进行抽气；同时对充气室(1)，测试室(2)和微型溅射离子泵(8)进行4小时的烘烤，烘烤温度为300℃。

6.根据权利要求4所述的行波管用微型溅射离子泵的抽速测试方法，其特征在于，所述的微型溅射离子泵(8)的工作电压为3500V，磁场强度为1100高斯。