[发明专利]物体表面污染物清洗用的光路系统

权利要求书

1.一种物体表面污染物清洗用的光路系统，包括：

一激光器，其发出圆形光斑；

一方形光斑整形器，其位于激光器的输出光路上，该方形光斑整形器将圆形光斑变换成发散的方形光斑；

一第一、第二透镜，其依序位于激光器的输出光路上，该第一柱透镜用于将方形光斑的一边长a方向进行准直，该第二透镜用于将方形光斑另一边长b方向进行准直；

一第一、第二扫描镜，其依序位于激光器的输出光路上，位于第一、第二透镜之后，该第一、第二扫描振镜用于控制清洗用扫描光斑摆动位置，控制清洗；

一聚焦场镜，其位于第二扫描镜的光路上，该聚焦场镜用于将平行长方形光斑聚焦形成尺寸为百微米级的清洗用长方形光斑。

2.根据权利要求1所述的物体表面污染物清洗用的光路系统，其中激光器为脉冲激光器。

3.根据权利要求1所述的物体表面污染物清洗用的光路系统，其中第一、第二透镜为柱透镜。

4.根据权利要求1所述的物体表面污染物清洗用的光路系统，其中第一扫描镜为反射扫描镜。

5.根据权利要求1所述的物体表面污染物清洗用的光路系统，其中第二扫描镜为反射扫描镜。

6.根据权利要求1所述的物体表面污染物清洗用的光路系统，其中聚焦场镜为凸透镜。