[发明专利]中红外扫描系统

权利要求书

1.一种包括MIR成像系统的装置，包括：

MIR激光器，所述MIR激光器生成第一光束；

平台，所述平台被适配为搭载要被扫描的样品；

光学组件，所述光学组件将所述第一光束聚焦于所述样品上的一点；

第一光探测器，所述第一光探测器测量离开所述样品上的所述点的光的第一强度；

光束强度探测器，所述光束强度探测器测量所述第一光束的强度；

平台致动器组件，所述平台致动器组件使得所述样品相对于所述点在二个维度上移动；以及

控制器，所述控制器从所述第一强度形成MIR图像，

其中，所述光学组件包括扫描组件，所述扫描组件包括聚焦透镜和反射镜，所述聚焦透镜将所述第一光束聚焦于所述点，所述反射镜相对于所述平台、在第一方向上移动，以使得所述聚焦透镜维持所述聚焦透镜和所述平台之间的固定距离，所述平台在正交于所述第一方向的方向上移动，

其中，所述MIR激光器是脉冲光源，并且所述控制器被配置为只对在从所述光束强度探测器测得的光束强度大于第一阈值的时间段内从所述第一光探测器测得的强度进行求和。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一光探测器测量从所述样品反射的光。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一光探测器测量由所述样品透射的光。

4.根据权利要求1所述的装置，还包括：测量所述第一光束的强度的光束强度探测器。

5.根据权利要求1所述的装置，包括：可见光成像站，所述可见光成像站显示所述样品的可见图像，所述可见图像是通过用在可见光波长范围内的光照射所述样品生成的。

6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述控制器被配置为接收来自用户的输入，所述输入指示所述可见图像中要被所述MIR成像系统扫描以生成相应的MIR图像的区域。

7.一种包括MIR成像系统的装置，包括：

脉冲MIR激光器，所述脉冲MIR激光器生成第一光束；

平台，所述平台被适配为搭载要被扫描的样品；

光学组件，所述光学组件将所述第一光束聚焦于所述样品上的一点；

第一光探测器，所述第一光探测器测量离开所述样品上的所述点的光的第一强度；

平台致动器组件，所述平台致动器组件使得所述样品相对于所述点在二个维度上移动；

光束强度探测器，所述光束强度探测器测量所述第一光束的强度；以及

控制器，所述控制器从所述第一强度形成MIR图像，其中，所述控制器只对在从所述光束强度探测器测得的光束强度大于第一阈值的时间段内从所述第一光探测器测得的强度进行求和。

8.根据权利要求7所述的装置，其中，所述控制器确定所述第一光束的测得的强度和所述测得的光束强度的比值以形成所述MIR图像。

9.根据权利要求7所述的装置，其中，所述控制器只对与生成的强度大于所述光束强度探测器中的预定阈值的脉冲相关联的测得的强度进行求和。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，所述光束强度探测器包括定向衰减器，所述定向衰减器阻止不在预定方向上传播的光线。