[发明专利]一种扩散石英舟插片装置有效
申请号: | 201510632015.4 | 申请日: | 2015-09-29 |
公开(公告)号: | CN105336653B | 公开(公告)日: | 2017-09-12 |
发明(设计)人: | 包君坚;马政;蔡凯;毛振晖 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 322118 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 石英 舟插片 装置 | ||
1.一种扩散石英舟插片装置,其特征是,包括用于放置扩散石英舟(27)的石英舟固定座(21)、组合型导向座(22)、花篮固定座(23)、用于放置电池片的花篮(24)、工作台(25)和推手(26),所述的石英舟固定座(21)和组合型导向座(22)均固定安装在工作台(25)上,所述的花篮固定座(23)与工作台(25)滑动连接,所述的石英舟固定座(21)、组合型导向座(22)和花篮固定座(23)在一条直线上,所述的花篮(24)置于花篮固定座(23)上,所述的推手(26)和花篮(24)相配合,所述的石英舟固定座(21)包括直角座(1)、第一玻纤板(17)、合页(28)、水平固定块(19)、前后固定块(18)、可调左右固定板(16)和翻转手柄(20),所述的直角座(1)由成90度夹角的两片板制作而成,所述的合页(28)安装在一片板上且置于两片板的结合处,所述的直角座(1)通过合页(28)固定在工作台(25)上,所述的第一玻纤板(17)有两块,所述的第一玻纤板(17)上设有若干用于放置电池片的第一导槽,所述的两块第一玻纤板(17)相互平行,所述的第一玻纤板(17)安装在直角座(1)的一片板上且与直角座(1)的另一片板平行,所述的水平固定块(19)、前后固定块(18)、可调左右固定板(16)和翻转手柄(20)安装在直角座(1)的另一片板上。
2.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置,其特征是,所述的可调左右固定板包括左固定板(16)和右固定板(29),所述的左固定板(16)固定 在直角座(1)的另一片板左边上,所述的右固定板(29)安装在直角座(1)的另一片板右边上,所述右固定板(29)的外侧设有可调块(15),所述的右固定板(29)通过可调块(15)固定在直角座(1)的另一片板右边上,所述的前后固定块(18)和水平固定块(19)置于左固定板(16)和右固定板(29)之间,所述的前后固定块(18)有四块且均匀的分布在直角座(1)的另一片板上,所述的水平固定块(19)有四块且均匀的分布在左固定板(16)的内 侧和右固定板(29)的内侧,所述的翻转手柄(20)有两个且均匀的分布在 左固定板(16)的外侧和可调块(15)的外侧。
3.根据权利要求1或2所述的一种扩散石英舟插片装置,其特征是,所述的组合型导向座(22)包括固定座(3)和第二玻纤板,所述固定座(3)的横截面形状为直角三角形,所述的固定座(3)有两个,所述的第二玻纤板有两个且分别为上玻纤板(2)和下玻纤板(13),所述的第二玻纤板上设有若干用 于放置电池片的第二导槽,所述的两个第二玻纤板置于两个固定座(3)之间, 所述的固定座(3)固定在工作台(25)上,所述的下玻纤板(13)固定在固 定座(3)的下端,所述的上玻纤板(2)固定在固定座(3)的上端,所述上 玻纤板(2)的第二导槽和下玻纤板(13)的第二导槽相对,即所述的上玻纤 板(2)与下玻纤板(13)上下对称。
4.根据权利要求3所述的一种扩散石英舟插片装置,其特征是,所述的第一导槽和第二导槽均为Y型导槽,所述Y型导槽的开口方向均为朝向花篮固定座(23)方向。
5.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置,其特征是,所述的花篮固定座(23)包括底板(4)、滑轨(11)、短固定块(12)、长固定块(10)和手柄(5),所述的滑轨(11)安装在工作台(25)上,所述的底板(4)安装在滑轨(11)上,所述的短固定块(12)有两个且分别置于底板(4)的左右两边缘处,所述的长固定块(10)置于两个短固定块(12)之间且与短固定块(12)的一端接触,所述短固定块(12)的另一端与底板(4)的前端齐平, 所述的手柄(5)有两个且置于底板(4)的后端左右两边。
6.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置,其特征是,所述花篮(24)的形状为无盖的箱体形状,所述花篮(24)的底部设有用于放置推手(26)的窗口(30),所述花篮(24)的其中两个相对应侧面上设有若干用于放置电池片的凹槽。
7.根据权利要求1所述的一种扩散石英舟插片装置,其特征是,所述的工作台(25)包括框架(7)、底座(6)和角度调节块(14),所述的底座(6)由玻纤板制作而成,所述的底座(6)和角度调节块(14)均安装在框架(7)上,所述的石英舟固定座(21)、组合型导向座(22)和花篮固定座(23)均安装在底座(6)的上方,所述的角度调节块(14)置于底座(6)的下方且与底座(6)连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造