[发明专利]一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构在审
| 申请号： | 201510632756.2 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105154845A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 陈万荣;陈修祥;周维虎;孙华平 | 申请（专利权）人： | 扬中中科维康智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212211 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 伺服 阀芯气相 沉积 加工 旋转 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构，包括大齿轮、小齿轮、轴承、阀芯杆状托盘、托盘上盖、双头螺栓、螺母、底座、旋转力输入轴、变速箱等部件。可以一次对六个伺服阀芯进行气相沉积处理。
2.根据权利要求1所述的一种伺服阀芯气相沉积加工旋转机构，其特征在于：采用大齿轮与六个小齿轮相啮合，其中所述的六个小齿轮在大齿轮上呈周向等间距布置，这六个小齿轮可随着大齿轮做同步旋转，以保证每个伺服阀芯都与镀层气体均匀接触。
3.根据权利要求1所述的阀芯杆状托盘，其穿过气相沉积炉底盘安装在小齿轮上，阀芯杆状托盘的旋转运动通过小齿轮的旋转来实现。
4.根据权利要求1所述的托盘上盖，其与阀芯杆状托盘相配合，可以将不同尺寸的伺服阀芯通过双头螺栓与螺母夹持在阀芯杆状托盘上，使伺服阀芯随着阀芯杆状托盘的旋转而旋转。
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