[发明专利]真空泵系统

说明书

本发明提供了一种真空泵系统，该真空泵系统具有用于对腔室(14)进行排空的主真空泵(10)。辅助泵(24)与主真空泵(10)的出口(16)连接。此外，控制装置(32、34)被提供用于使辅助泵(24)在存在于出口(16)处的压力的限定范围内启用。控制装置(32、34)仅包括机械部件。

技术领域

本发明涉及一种真空泵系统。

背景技术

真空泵系统包括例如至少一个主真空泵以及至少一个辅助泵。主真空泵可以是干压缩真空泵比如螺杆型真空泵。主真空泵的出口与用于支持的辅助泵连接。膜泵或喷射泵经常用作辅助泵。在这样的真空泵系统中，辅助泵的排出容积明显低于主真空泵的排出容积。特别地，辅助真空泵的排出容积小于主真空泵的排出容积的1/50。通过使用这样的辅助泵，能够实现较低的端压力。使用这样的辅助泵还允许降低整个系统的能量消耗，其中，辅助泵本身具有由此需要额外的能量的劣势。具体地，如果辅助泵比如喷射泵连续运转时就会出现这种情况。此外，这对喷射泵而言需要很高的动力气体消耗，该动力气体例如可以是压缩空气。

从US 2012/0219443中已知具有主泵以及与该主泵的出口连接的喷射泵的真空泵系统。

在该系统中，只有当主真空泵的出口处存在预定压力范围内的压力时，喷射泵才启用。这允许降低喷射泵的能量消耗且降低动力气体的消耗。在US 2012/0219443中所描述的真空泵系统中，借助于电子控制装置启用以及停用喷射泵。电子控制装置根据在主真空泵的出口处测量的压力并且也根据主真空泵的功率消耗使喷射泵断电。因此，在US 2012/0219443中描述的真空泵系统的缺点是：不得不提供复杂的电子控制器和传感器。具体地，这些复杂的电子控制器和传感器是适用于绝对压力测量的昂贵的传感器。这降低了运转安全性而且增加了制造成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空泵系统，其中，能够以高可靠性确保辅助泵的运转。

根据本发明，该目的利用本发明所述的真空泵系统f来实现。

本发明的真空泵系统包括主真空泵，该主真空泵适于与待排空的腔室连接。特别地，主真空泵是干压缩真空泵比如螺杆型泵。主真空泵的出口与辅助泵连接，该辅助泵在优选实施方式中为喷射泵。此外，设置有控制装置以启用辅助泵。通过使用控制装置，在存在于主真空泵的出口处的限定的压力范围内启用以及停用辅助泵。压力范围优选地为500mbar至150mbar。优选地，该压力范围的两个压力之间的压力差异在20mbar至200mbar的范围内。

根据本发明，控制装置仅包括机械部件。因而，根据发明，电子控制器的设置或相应传感器的设置并非必要。以这种方式，能够显著地提高真空泵系统的运转安全性和可靠性。在特别优选实施方式中，辅助真空泵——特别地为喷射泵——的上述启用和停用在待机模式期间起作用。在该模式下，腔室例如保持处于预定压力下。在待机模式下，没有介质从腔室泵送或仅极少量被泵送(具体地，由于泄漏)。通过如本发明设置的那样特别地在待机模式下启用以及停用辅助泵，能够进一步降低整个系统的能量消耗，这是由于降低了辅助真空泵的额外的能量消耗。此外，由于控制装置的特定的、机械上简单的结构，因此能够降低制造成本。

优选地，控制装置包括压力摇杆。借助于根据极限压力运转的机械压力摇杆，能够特别地在待机模式下在不足压力下限时停用辅助泵并且在超过压力上限时启用辅助泵。极限压力——优选地存在于主真空泵的出口区域中——的相应范围可以例如通过设置相应的机械弹簧来限定，所述相应的机械弹簧特别地为可调节的弹簧或压力元件。通过设置这种压力摇杆，在喷射泵用作辅助泵的情况下，能够打开或关闭通向喷射泵的动力气体比如压缩空气的供给。这允许辅助泵的简单的启用和停用。