[发明专利]一种太阳能电池栅线的制备方法在审
申请号: | 201510633035.3 | 申请日: | 2015-09-29 |
公开(公告)号: | CN105118899A | 公开(公告)日: | 2015-12-02 |
发明(设计)人: | 许佳平;金井升;蒋方丹;金浩;陈康平 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0224 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵青朵 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 制备 方法 | ||
1.一种太阳能电池栅线的制备方法,其特征在于,包括:
A)在半成品电池片的正面与背面均涂抹一层光刻胶,然后进行软烘、曝光、后烘、显影与坚膜;所述半成品电池品由依次设置的钝化膜、N型层、P型基底组成,所述P型基底的背面设有背电极与铝背场;
B)将步骤A)中得到的电池片用酸溶液进行腐蚀;
C)将步骤B)中得到的电池片进行电镀银;
D)将步骤C)中得到的电池片进行光刻胶剥离,再进行退火处理,得到含有栅线的电池片。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤A)中的涂抹具体为:
先在300~700rpm转速下旋涂3~10s,然后2000~4000rpm转速下旋涂25~45s。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤A)中正面与背面涂抹一层光刻胶的厚度各自独立地为1~4μm。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述光刻胶为正性光刻胶或负性光刻胶。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述软烘的温度60℃~120℃;所述软烘的时间为25~80s。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤B)中的酸溶液为HF溶液;所述HF的质量浓度为5%~10%。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述腐蚀的时间500~1200s。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤C)中的电镀为光诱导电镀;所述光诱导电镀的时间为120~360s。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤D)中光刻胶剥离的温度为40℃~80℃;所述剥离的时间为60~150s。
10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤D)中退火的温度为400℃~550℃;退火的时间为10~20s。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的