[发明专利]一种太阳能电池栅线的制备方法在审

专利信息
申请号: 201510633035.3 申请日: 2015-09-29
公开(公告)号: CN105118899A 公开(公告)日: 2015-12-02
发明(设计)人: 许佳平;金井升;蒋方丹;金浩;陈康平 申请(专利权)人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0224
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 赵青朵
地址: 314416 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能电池 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池栅线的制备方法,其特征在于,包括:

A)在半成品电池片的正面与背面均涂抹一层光刻胶,然后进行软烘、曝光、后烘、显影与坚膜;所述半成品电池品由依次设置的钝化膜、N型层、P型基底组成,所述P型基底的背面设有背电极与铝背场;

B)将步骤A)中得到的电池片用酸溶液进行腐蚀;

C)将步骤B)中得到的电池片进行电镀银;

D)将步骤C)中得到的电池片进行光刻胶剥离,再进行退火处理,得到含有栅线的电池片。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤A)中的涂抹具体为:

先在300~700rpm转速下旋涂3~10s,然后2000~4000rpm转速下旋涂25~45s。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤A)中正面与背面涂抹一层光刻胶的厚度各自独立地为1~4μm。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述光刻胶为正性光刻胶或负性光刻胶。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述软烘的温度60℃~120℃;所述软烘的时间为25~80s。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤B)中的酸溶液为HF溶液;所述HF的质量浓度为5%~10%。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述腐蚀的时间500~1200s。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤C)中的电镀为光诱导电镀;所述光诱导电镀的时间为120~360s。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤D)中光刻胶剥离的温度为40℃~80℃;所述剥离的时间为60~150s。

10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤D)中退火的温度为400℃~550℃;退火的时间为10~20s。

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