[发明专利]可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置

权利要求书

1.一种可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：包括抛光工具体(1)、用于磨削的磨盘(4)、柔性铰链磨头(5)以及可带动抛光工具体进行超声振动的超声波振动装置；该磨盘(4)可旋转地安装在该抛光工具体(1)上，其上设有若干孔(41)，所述的柔性铰链磨头(5)通过柔性铰链安装在该孔内；所述磨盘(4)中间设有一个所述的柔性铰链磨头(5)，在中间的柔性铰链磨头(5)外周放射性设有多个所述的柔性铰链磨头(5)，且位于磨盘(4)中间与周边的柔性铰链磨头具有不同的弹性模量。

2.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的磨盘(4)通过轴承(2)安装在所述抛光工具体(1)的轴承孔内，并通过固定在该抛光工具体上的轴承端盖(9)定位该轴承(2)。

3.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的磨盘(4)通过一电机(13)带动旋转；所述的磨盘(4)上设有磨盘轴(6)，所述电机(13)的轴与该磨盘轴连接；所述的电机(13)固定在一支撑板(10)上，该支撑板则与所述的抛光工具体(1)连接。

4.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的磨盘(4)及柔性铰链磨头(5)的磨削面设置有抛光垫(22)。

5.根据权利要求4所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的抛光垫(22)通过热熔胶分别粘贴于所述磨盘(4)和柔性铰链磨头(5)上。

6.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的超声波振动装置包括压电陶瓷(14)、超声波发生器(15)、换能器(16)以及变幅杆(17)；该压电陶瓷(14)安装于抛光工具体(1)的一侧侧板上，与抛光工具体紧密贴着；该超声波发生器(15)通过信号线连接到换能器(16)上，换能器再与变幅杆(17)连接，最后变幅杆(17)通过信号线连接于压电陶瓷(14)上。

7.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：进一步设置有冷却液管(21)，该冷却液管的管口朝向磨盘(4)；所述磨盘(4)上方设置有环状的磨盘盖板(3)，该磨盘盖板与磨盘紧密配合。

8.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：进一步设置有连接结构，该连接结构为固定在所述抛光工具体(1)一侧侧板的连接板(19)，该侧板与连接板之间设置有缓冲片(18)。

9.根据权利要求1所述的可抑制光学元件中频误差的超声振动抛光磨头装置，其特征在于：所述的柔性铰链磨头(5)根据实际情况设置有不同的数量、排列方式或者弹性模量。