[发明专利]坩埚卸料清扫装置

权利要求书

1.一种坩埚卸料清扫装置，其特征在于，包括用于承载坩埚（1）的翻转机构（2）和用于对翻转卸料后的坩埚（1）进行清扫的清扫机构（3），所述翻转机构（2）上设有用于固定坩埚（1）的坩埚固定组件（21），所述清扫机构（3）设置于翻转机构（2）的一侧，所述翻转机构（2）带动坩埚（1）一同翻转卸料后倒扣于清扫机构（3）的上方以使清扫机构（3）对坩埚（1）进行清扫；所述翻转机构（2）上还设有用于清扫坩埚（1）外壁的第一气吹组件（26），所述第一气吹组件（26）包括两个以上布置于坩埚（1）下方的气嘴，两个以上的所述气嘴均朝向坩埚（1）设置；所述翻转机构（2）包括翻转支架（22），所述坩埚（1）的开口外沿处设有凸出部（11），所述坩埚固定组件（21）包括一个以上设置于翻转支架（22）上的旋转压紧气缸，所述旋转压紧气缸对坩埚（1）的凸出部（11）施压以将坩埚（1）固定在翻转支架（22）上，所述翻转支架（22）远离清扫机构（3）的一侧的下方设有第一缓冲弹簧（25）。

2.根据权利要求1所述的坩埚卸料清扫装置，其特征在于，所述翻转机构（2）旋转轴组件（23）和翻转驱动组件（24），所述坩埚（1）固定于翻转支架（22）上，所述翻转支架（22）靠近清扫机构（3）的一侧设有旋转轴组件（23），所述翻转驱动组件（24）与翻转支架（22）连接用于驱动翻转支架（22）沿旋转轴组件（23）进行翻转。

3.根据权利要求2所述的坩埚卸料清扫装置，其特征在于，所述坩埚固定组件（21）包括一个以上设置在翻转支架（22）上的通电磁铁，所述坩埚（1）上设有用于与通电磁铁相磁吸配合的磁性部。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的坩埚卸料清扫装置，其特征在于，所述清扫机构（3）包括清扫刷（31）和清扫驱动组件（32），所述清扫刷（31）的顶面与翻转后的坩埚（1）的内底面接触，所述清扫驱动组件（32）设于清扫刷（31）的下方用于驱动清扫刷（31）旋转以对坩埚（1）进行清扫。

5.根据权利要求4所述的坩埚卸料清扫装置，其特征在于，所述清扫刷（31）的横向宽度不小于坩埚（1）的内径长度，所述清扫刷（31）的横向两端侧面与翻转后的坩埚（1）的内侧壁接触以进行清扫。

6.根据权利要求5所述的坩埚卸料清扫装置，其特征在于，所述清扫机构（3）还包括用于对坩埚（1）的内壁进行气吹清扫的第二气吹组件（33）。

7.根据权利要求5所述的坩埚卸料清扫装置，其特征在于，所述清扫机构（3）远离翻转机构（2）的一侧设有第二缓冲弹簧（34），所述翻转机构（2）翻转后压负于第二缓冲弹簧（34）上。