[发明专利]一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头

权利要求书

1.一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头，其特征在于，包括：

三个激光源，用于发射三条激光束，即激光束一(21)、激光束二(22)和激光束三(23)；

三个光电探测器，即光电探测器一(31)、光电探测器二(32)和光电探测器三(33)，所述光电探测器一(31)与激光源一(11)相对设置，且所述光电探测器一(31)用于接收所述激光源一(11)直接入射的所述激光束一(21)；所述光电探测器二(32)与激光源二(12)相对设置，且所述光电探测器二(32)用于接收所述激光源二(12)直接入射的所述激光束二(22)；所述光电探测器三(33)与激光源三(13)相对设置，且所述光电探测器三(33)用于接收所述激光源三(13)直接入射的所述激光束三(23)；

测头基座(4)，所述测头基座上设有所述激光源一(11)、激光源二(12)和激光源三(13)，以及用于检测的测杆(6)和测球(7)；

平移部件，用于使所述测头基座(4)做直线运动，其中所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)、光电探测器三(33)的入射面相互垂直设置，所述平移部件用于将所述测头基座(4)分别沿相对所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)、光电探测器三(33)的三个相互垂直的方向移动；

回复部件，用于将所述测头基座(4)回复至初始位置；

处理系统，根据所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)和光电探测器三(33)上分别获得的激光束一(21)，激光束二(22)和激光束三(23)入射位置变化值，计算得到所述测球(7)的三维位移变化值。

2.根据权利要求1所述的一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头，其特征在于，所述平移部件包括至少一个导向槽一(81)，所有所述导向槽一(81)上沿垂直方向设有至少一个导向槽二(82)，所有所述导向槽二(82)上沿垂直方向设有至少一个导向槽三(83)，所有所述导向槽三(83)上滑动连接所述测头基座(4)。

3.根据权利要求1所述的一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头，其特征在于，还包括壳体(9)，所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)与光电探测器三(33)连接在所述壳体内，所述回复部件(5)为弹簧，其中一端连接在所述壳体(9)上、另一端连接在所述测头基座(4)上。

4.根据权利要求3所述的一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头，其特征在于，至少一个所述光电探测器旋转连接在所述壳体(9)上。

5.根据权利要求1-4任一所述的一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头，其特征在于，所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)与光电探测器三(33)为位置敏感探测器。

6.根据权利要求5所述的一种直接入射式光臂放大型三维扫描测头，其特征在于，所述光电探测器一(31)、光电探测器二(32)与光电探测器三(33)均为一维位置敏感探测器。