[发明专利]平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台移动方法及装置

权利要求书

1.一种平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台移动方法，其特征在于，该共基面运动平台包括设置有第一动直线导轨（1）的第一静直线导轨（3）、设置有第二动直线导轨（7）的第二静直线导轨（6）、静平面气浮导轨（2）、动平面气浮导轨（4），所述第二静直线导轨（6）垂直设置在第一动直线导轨（1）上，所述第二动直线导轨（7）的一侧通过连接机构（5）与动平面气浮导轨（4）连接；所述第一静直线导轨（3）、第二静直线导轨（6）、动平面气浮导轨（4）均设置在静平面气浮导轨（2)上方；

该共基面运动平台移动方法为：当高压高速气体在静平面气浮导轨（2）和动平面气浮导轨（4）的接触表面之间高速流过时，产生具有压力的气膜把所述动平面气浮导轨（4）撑起，当气膜厚度h大于两个表面的平面度误差之和时，所述动平面气浮导轨（4）会处于悬浮状态，达到纯气体摩擦；当所述动平面气浮导轨（4）在静平面气浮导轨（2）上移动时，相当于在一个高刚度高平整度的气膜上移动。

2.根据权利要求1所述的平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台移动方法，其特征在于，所述共基面运动平台移动方法具体为：所述第一动直线导轨（1）在第一静直线导轨（3）上往复滑动时，带动所述第二动静直线导轨（6）、第二动直线导轨（7）及动平面气浮导轨（4）也在X方向上产生往复运动；所述第二动直线导轨（7）在第二静直线导轨（6）上往复滑动时，带动所述动平面气浮导轨（4）在Y方向上产生往复运动；所述第一动直线导轨（1）和第一静直线导轨（3）组成X方向的解耦机构，所述第二动直线导轨（7）和第二静直线导轨（6）组成Y方向的解耦机构，实现了X，Y方向的运动相互不干涉。

3.一种平面气浮导轨误差均化的共基面运动平台，其特征在于，该共基面运动平台包括设置有第一动直线导轨（1）的第一静直线导轨（3）、设置有第二动直线导轨（7）的第二静直线导轨（6）、静平面气浮导轨（2）、动平面气浮导轨（4），所述第二静直线导轨（6）垂直设置在第一动直线导轨（1）上，所述第二动直线导轨（7）的一侧通过连接机构（5）与动平面气浮导轨（4）连接；所述第一静直线导轨（3）、第二静直线导轨（6）、动平面气浮导轨（4）均设置在静平面气浮导轨（2）上方。