[发明专利]一种单孔径分光超衍射成像系统及其方法

权利要求书

1.一种单孔径分光超衍射成像系统，其特征在于：包括沿光路依次设置的缩束镜、二维扫描装置、N级分束子系统和聚焦镜；入射光通过缩束镜得到压缩，N级分束子系统通过振幅分光将压缩后的光路最终分为N×N个子光束阵列，其中每个分束子系统中均增设有一组平行的反射镜用于调节各子光束的光程，使得N×N个子光束阵列在所述聚焦镜前构成等相位的波阵面SK；经聚焦镜后，N×N个子光束进行自干涉最终实现超衍射。

2.根据权利要求1所述的单孔径分光超衍射成像系统，其特征在于：所述N级分束子系统的结构完全相同。

3.采用权利要求1所述单孔径分光超衍射成像系统实现超衍射的方法，包括以下步骤：

1)将宽光束的入射光进行压缩；

2)采用二维扫描装置进行物点扫描；

3)通过N级振幅分光将压缩后的光路分为N×N个子光束；

4)调节N×N个子光束光程至等光程、等周期间隔；

5)经聚焦镜将N×N个子光束进行聚焦并相互发生干涉；

6)经自相干后光斑的零级衍射斑宽度得到压缩并实现超衍射。