[发明专利]制造合成石英玻璃的方法有效
| 申请号： | 201510642238.9 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105481232B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 兰·乔治·塞斯;马丁·罗默 | 申请（专利权）人： | 贺利氏石英玻璃有限两合公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B19/14 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;刘华联 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制造 合成 石英玻璃 方法 | ||
1.一种生产合成石英玻璃的方法，包括下述加工步骤：
(a)蒸发包括至少一种可聚合的聚烷基硅氧烷化合物的生产材料，同时形成生产材料蒸气；
(b)将从加工步骤(a)中得到的所述生产材料蒸气供应到反应区域，其中所述生产材料通过热解或水解转化成SiO2颗粒；以及
(c)将从加工步骤(b)中得到的所述SiO2颗粒沉积在沉积表面上；
(d)若适用，干燥并且玻璃化从加工步骤(c)中得到的所述SiO2颗粒，同时形成合成石英玻璃，
其特征在于，至少一种聚烷基硅氧烷化合物包含最多为550ppb的氯含量、合计最多为25ppb的铬(Cr)和锌(Zn)的金属杂质含量以及最多为150ppm的残留水分含量。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种聚烷基硅氧烷化合物包含最多为400ppb的氯含量。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述至少一种聚烷基硅氧烷化合物包含至少为40ppb的氯含量。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种聚烷基硅氧烷化合物包含最多为16ppb的Zn和Cr的金属杂质含量。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述至少一种聚烷基硅氧烷化合物包含至少为2ppb的Zn和Cr的金属杂质含量。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一种聚烷基硅氧烷化合物包含至少为3ppm的残留水分含量。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将所述至少一种聚烷基硅氧烷化合物作为生产材料使用之前，对其进行提纯处理，以将所述氯含量和Cr和Zn的金属杂质含量调节至上述范围。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在加工步骤(a)到(c)中使用包括2个或更多个燃烧器的多燃烧器装置。
9.聚烷基硅氧烷化合物在权利要求1到8中任一项所述的方法中的应用，其中所述聚烷基硅氧烷化合物具有在根据权利要求1-8中任一项所述方法中限定的氯含量、Cr和Zn的金属杂质含量以及残留水分含量。
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