[发明专利]薄膜制备腔室及薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201510643758.1 | 申请日： | 2015-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN106567044A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 徐悦 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 制备 方法 | ||
【说明书】：
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