[发明专利]一种二自由度重力平衡吊装机构

说明书

技术领域

本发明涉及精密调整机构，特别提供了一种二自由度重力平衡吊装机构，主要用于光刻物镜部分机构拆卸与集成过程中，物镜机构的吊运与倾斜的调整，以及在集成调偏心时的重力平衡。

背景技术

在光刻物镜选择某镜组进行面型精修时，需要对该镜组上部物镜机构进行拆卸与集成，在此过程中需要对上部物镜机构进行吊运，吊运时要进行倾斜的调整以保证机构的安全分离与安装，安装时需要平衡上部物镜机构绝大部分重力以便可以调节偏心从而达到所要求的光学技术指标，为了能将物镜机构安全吊运以及容易的调整到指定位置，需要吊装机构满足如下要求：

1、吊装机构整体外形尺寸不宜过大、结构紧凑；

2、吊装机构具有足够的刚度及强度；

3、吊装机构具有调节倾斜及重力平衡的功能，调节时应方便、快速且有自锁功能；

4、吊装机构在悬吊及工作时应足够的安全。

现有技术中，一般的物镜机构吊装机构功能单一即只具有吊装的功能，并不具备调节倾斜以及重力平衡的功能，而且适用的对象范围较小，造成频繁更换吊装机构的现象，因此一般的吊装机构在实用性和通用性方面都不十分理想。

因此，如何解决上述问题，成为人们亟待解决的问题。

发明内容

鉴于此，本发明的目的在于提供一种二自由度重力平衡吊装机构，以至少解决以往吊装机构存在的只具有吊装的单一功能，适用的对象范围较小，造成频繁更换吊装机构等问题。

本发明提供的方案具体为，一种二自由度重力平衡吊装机构，其特征在于，包括：

下基板1；

上基板2，位于所述下基板1的上方；

倾斜配重机构3，其分别与所述下基板1和所述上基板2固定连接，且所述倾斜配重机构3的下端设有用于与吊装物连接的下吊环螺栓，所述下吊环螺栓位于所述下基板1的下方；

重力平衡机构4，其分别与所述下基板1和所述上基板2固定连接，且所述重力平衡机构4的上端设置有用于与吊机连接的上吊环螺栓，所述上吊环螺栓位于所述上基板2的上方；

倾斜调整机构6，其与所述下基板1固定连接，且所述倾斜调整机构6包括驱动部和运动部，所述运动部的下端设置有用于与吊装物连接的下吊环螺栓，且所述下吊环螺栓位于所述下基板1的下方，所述倾斜调整机构6的运动部贯穿于所述上基板2和所述下基板1，且所述运动部在所述驱动部的驱动下可相对所述上基板2和所述下基板1上下移动。

优选，所述倾斜调整机构6的运动部包括：

导向轴61，其依次穿过所述上基板2和所述下基板1，且所述导向轴61的中部设置有楔形通孔，其底端端面设置有螺孔；

下吊环螺栓63，其与所述螺孔配合，螺纹连接于所述导向轴61的底端端面；

所述倾斜调整机构6的驱动部包括：

衬套底座64，其与所述下基板1上表面固定连接；

第一无油衬套65，其安装于所述衬套底座64内；

调整螺栓66，其套装于所述第一无油衬套65的内部；

止动螺母67，其与所述衬套底座64固定连接，且螺纹套装于所述调整螺栓66的外部；

楔形块底座68，其与所述下基板1上表面固定连接，且所述楔形块底座68上设置有导轨681；

楔形块69，其位于所述导轨681上，且所述楔形块69的一端端面设置有螺孔，所述螺孔与所述调整螺栓66的端部旋合，所述楔形块69的另一端插设于所述导向轴61的楔形通孔内。

进一步优选，所述倾斜调整机构6的运动部还包括：

第二无油衬套62，其分别套装于所述导向轴61的上部和下部，且位于上方的第二无油衬套62与所述上基板2的下表面固定连接，位于下方的第二无油衬套62与所述下基板1的上表面固定连接。

进一步优选，所述倾斜调整机构6的个数为两个，且所述两个倾斜调整机构6和所述倾斜配重机构3分别位于所述下基板1沿三等分圆的角边线方向上。

进一步优选，所述下基板1为正三角形，且其顶角均设有倒角，所述两个倾斜调整机构6和所述倾斜配重机构3分别位于所述正三角形的顶角处；所述上基板1也为正三角形，且其顶角均设有倒角。

进一步优选，所述倾斜配重机构3包括：

配重块31，其依次穿过所述上基板2和所述下基板1，且所述配重块31的上端面与所述上基板2固定连接，所述配重块的下端设置有螺纹，且下端端面设置有螺孔；

锁紧螺母32，其套装于所述配重块31的下端螺纹上，且位于所述下基板1的下方；