[发明专利]清洁系统和方法

权利要求书

1.一种用于保持工件的机械手，其中工件包括第一部件和第二部件，第一部件为双容器掩模版载具的内容器的部件，并且第二部件为双容器掩模版载具的外容器的部件，所述机械手包括：

手柄，其中手柄包括两个臂，其中两个臂之间的距离能够被调节以支撑第一和第二部件；

连接到两个臂以调节两个臂之间的距离的机构；

其中每一个臂都包括用于夹持第一部件的第一部分和用于夹持第二部件的第二部分，

其中第一部分和第二部分设置在臂上的不同位置上；

还包括连接到每一个臂的插入件，其中第一部分包括插入件的中间部分，并且其中第二部分包括插入件的顶部部分或底部部分。

2.根据权利要求1所述的机械手，还包括用于与第一或第二部件上的凹部配合的销。

3.一种用于输送工件的方法，其中工件包括第一部件和第二部件，第一部件为双容器掩模版载具的内容器的部件，并且第二部件为双容器掩模版载具的外容器的部件，所述方法包括以下步骤：

扩大两个夹持臂之间的第一距离以包围第一部件，其中每一个夹持臂包括插入件；

将第一部件夹持在夹持臂上的第一部分处，其中第一部分包括插入件的中间部分；

将第一部件输送到第一目的地；

扩大两个夹持臂之间的第二距离以包围第二部件；

将第二部件夹持在夹持臂上的第二部分处，其中第二部分包括插入件的顶部部分或底部部分；

将第二部件输送到第二目的地，

其中第一部分和第二部分设置在臂上的不同位置上。

4.根据权利要求3所述的方法，其中扩大和夹持由电动机来执行。

5.根据权利要求3所述的方法，其中夹持由反馈传感器控制。

6.根据权利要求3所述的方法，还包括以下步骤：使臂上的销与第一或第二部件上的凹部配合。