[发明专利]微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置

权利要求书

1.一种微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置，其特征在于，包括：清洗液供应单元、清洗液回收单元、气体增压单元、清洗执行单元这四个单元以及机械支撑结构，所述四个单元之间通过管路连接，管路上的阀门控制这四个单元之间的通断，且所述四个单元均安装在所述机械支撑结构上；

所述清洗液供应单元用于向清洗执行单元提供清洗液；

所述清洗液回收单元用于回收清洗剩余的清洗液；

所述气体增压单元用于调节输入气体的压力，实现不同力度的清洗；

所述清洗执行单元用于实现多种方式的清洗，包括：洗液射流清洗、气液两相流清洗以及气体风淋清洗；其中：所述清洗液供应单元包括：气体排放阀(7)、清洗液容器Ⅰ(14)、清洗液容器Ⅱ(15)、积液器(18)、自吸抽液泵(19)、自吸泵出液阀(21)、自吸泵进液阀Ⅰ(22)、自吸泵进液阀Ⅱ(23)、自吸泵出液管路(27)、自吸泵进液管路(28)、气体排放管路(29)；所述清洗液容器Ⅰ(14)、清洗液容器Ⅱ(15)分别通过所述自吸泵进液阀Ⅰ(22)、自吸泵进液阀Ⅱ(23)与自吸泵进液管路(28)的输入端相连，所述自吸泵进液管路(28)的输出端与自吸抽液泵(19)相连，所述自吸抽液泵(19)通过自吸泵出液管路(27)向积液器(18)输送清洗液，所述自吸泵出液管路(27)上安装有自吸泵出液阀(21)，设置在积液器(18)上端的气体排放管路(29)上安装有气体排放阀(7)；且所述清洗液供应单元的各个组件之间通过球头螺帽的形式进行连接和密封。

2.根据权利要求1所述的微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置，其特征在于，所述清洗液回收单元包括：清洗防溅射板(8)、清洗槽(9)、清洗液回排阀Ⅰ(11)、清洗液回排管路(12)、清洗液回排阀Ⅱ(13)；所述清洗防溅射板(8)以可拆卸的方式安装在清洗槽(9)的周边，清洗液回排管路(12)与清洗槽(9)相连，清洗液回排阀Ⅰ(11)、清洗液回排阀Ⅱ(13)均安装在清洗液回排管路(12)上。

3.根据权利要求1所述的微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置，其特征在于，所述气体增压单元包括：缓冲容器(2)、进气控制阀(3)、三通接头(4)、压力传感器(5)、增压控制阀(6)、进气管路(24)以及增压管路(25)；所述进气管路(24)通过三通接头(4)与缓冲容器(2)相连，所述进气控制阀(3)安装在所述进气管路(24)上，所述增压管路(25)通过压力传感器(5)与所述三通接头(4)相连，所述增压控制阀(6)安装在增压管路(25)上；且所述缓冲容器(2)能够通过所述增压控制阀(6)对积液器(18)内的清洗液进行增压。

4.根据权利要求1所述的微小尺度盲腔内壁表面净化除垢装置，其特征在于，所述清洗执行单元包括：五通接头(10)、清洗控制阀(20)、清洗支管路(26)、清洗管路(30)、清洗喷嘴Ⅰ(40)、清洗喷嘴转接头Ⅰ(41)、清洗喷嘴Ⅱ(42)、清洗喷嘴转接头Ⅱ(43)、清洗喷嘴转接头Ⅲ(44)、清洗喷嘴Ⅲ(45)、清洗喷嘴转接头Ⅳ(46)、清洗喷嘴Ⅳ(47)；所述五通接头(10)分别连通清洗管路(30)和清洗支管路(26)，所述清洗支管路(26)分别通过清洗喷嘴转接头Ⅰ(41)、清洗喷嘴转接头Ⅱ(43)、清洗喷嘴转接头Ⅲ(44)、清洗喷嘴转接头Ⅳ(46)与贯穿所述清洗槽(9)的清洗喷嘴Ⅰ(40)、清洗喷嘴Ⅱ(42)、清洗喷嘴Ⅲ(45)、清洗喷嘴Ⅳ(47)相连，所述清洗控制阀(20)安装在所述清洗管路(30)上。