[发明专利]波长选择滤光器及光照射装置

说明书

本发明提供波长选择滤光器及光照射装置，其能抑制膜数的大幅度的增加，并在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量。波长选择滤光器的结构如下，在透明基板上具备由第一电介质多层膜及第二电介质多层膜构成的第一层叠体、和由第三电介质多层膜及第四电介质多层膜构成的第二层叠体，第一及第三电介质多层膜是交替层叠具有第一折射率的第一折射率材料、和具有小于第一折射率的第二折射率的第二折射率材料而构成，第二及第四电介质多层膜是交替层叠具有第三折射率的第三折射率材料、和具有小于第三折射率的第四折射率的第四折射率材料而构成，第一折射率与第三折射率不同，第二折射率与第四折射率不同。

技术领域

本发明涉及层叠了多个膜的波长选择滤光器及光照射装置。

背景技术

以往，树脂或粘接剂等的光固化使用了采用水银灯或金属卤化物灯的光照射装置。水银灯或金属卤化物灯所发出的光除了用于使树脂或粘接剂固化所需的波长的光之外，还发出对照射对象物造成一些损害的不需要的波长的光，因此在光照射装置中使用波长选择滤光器。作为波长选择滤光器，代表性的是使用了用金属着色的有色玻璃的波长选择滤光器，但由于来自灯的紫外线的影响而产生暴晒，透射率降低。对此，可考虑使用在透明基板上层叠了电介质多层膜的波长选择滤光器，但由电介质多层膜构成的波长选择滤光器在透射特性方面具有入射角度依赖性，光的入射角度越大，透射波长域越向短波长侧偏移。

于是，已知如下技术，其通过使用由在透明基板上交替层叠了高折射率材料的层和折射率比它稍低的材料的层的电介质多层膜构成的波长选择滤光器，从而在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1

日本特开2008－20563号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在上述的现有的结构中，存在若想要减小波长偏移量则膜整体的层数大幅度增多的问题。

本发明是鉴于上述情况而做出的，其目的在于提供一种波长选择滤光器及光照射装置，其能够抑制膜数的大幅度的增加，并且在光向膜面倾斜入射时也能减小分光透射特性的波长偏移量。

用于解决问题的技术方案

为了达到上述目的，本发明的波长选择滤光器的特征在于，在透明基板上具备由第一电介质多层膜及第二电介质多层膜构成的第一层叠体、和由第三电介质多层膜及第四电介质多层膜构成的第二层叠体，所述第一及第三电介质多层膜是交替层叠具有第一折射率的第一折射率材料、和具有小于所述第一折射率的第二折射率的第二折射率材料而构成，所述第二及第四电介质多层膜是交替层叠具有第三折射率的第三折射率材料、和具有小于所述第三折射率的第四折射率的第四折射率材料而构成，所述第一折射率与所述第三折射率不同，所述第二折射率与所述第四折射率不同。

在上述结构中，所述第一层叠体和所述第二层叠体也可以分别形成在所述透明基板的不同的面上。

在上述结构中，也可以将所述第一折射率与所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述第三折射率与所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差设为波长偏移量成为规定值以下的值。

在上述结构中，也可以是，所述第一层叠体构成窄带通型滤光器，所述第二层叠体构成宽带通型滤光器。

在上述结构中，也可以将所述第一折射率与所述第二折射率的平均值即第一平均折射率、和所述第三折射率与所述第四折射率的平均值即第二平均折射率之差设为0.1～0.6。