[发明专利]基板传送方法

权利要求书

1.一种基板传送方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供一上游机台(1)与下游机台(2)，所述上游机台(1)包括一机械手臂(10)与出片传感器(15)；所述下游机台(2)包括一收片载台(20)与收片传感器(25)；

所述机械手臂(10)包括两个平行设置的叉片分支(11)，所述叉片分支(11)用于在传片过程中装载和支撑基板(30)；

步骤2、在所述机械手臂(10)上承载数片基板(30)后，所述机械手臂(10)移动至出片传感器(15)并触发出片传感器(25)，上游机台(1)向下游机台(2)发送链接信号，所述链接信号包括机械手臂(10)上承载的数片基板(30)的位置信息与资料信息；

步骤3、所述上游机台(1)与下游机台(2)进行信号交握，所述下游机台(2)接收所述链接信号，之后所述上游机台(1)通过机械手臂(10)将基板(30)传递至下游机台(2)的收片载台(20)上；

步骤4、所述下游机台(2)接收基板(30)后触发收片传感器(25)，下游机台(2)根据接收到的基板(30)的位置信息将基板(30)的资料信息分配给每一片基板(30)；

步骤5、下游机台(2)对基板(30)进行制程操作。

2.如权利要求1所述的基板传送方法，其特征在于，每片基板(30)的位置信息用一个比特位表示：1代表有片，0代表无片。

3.如权利要求2所述的基板传送方法，其特征在于，所述机械手臂(10)一次传送4片基板(30)。

4.如权利要求3所述的基板传送方法，其特征在于，位置信息1111、0111、1011、1101、1110分别代表机械手臂(10)满片、一叉片分支(11)前端缺片、一叉片分支(11)后端缺片、另一叉片分支(11)前端缺片、另一叉片分支(11)后端缺片。

5.如权利要求3所述的基板传送方法，其特征在于，位置信息1010代表一叉片分支(11)后端缺片且另一叉片分支(11)后端缺片。

6.如权利要求2所述的基板传送方法，其特征在于，所述机械手臂(10)一次传送2片基板(30)。

7.如权利要求6所述的基板传送方法，其特征在于，位置信息11、01、10分别代表机械手臂(10)满片、一叉片分支(11)前端缺片、一叉片分支(11)后端缺片。

8.如权利要求1所述的基板传送方法，其特征在于，所述基板(30)为液晶显示面板。