[发明专利]一种带有自动出料功能的单晶炉炉体

说明书

本发明涉及一种带有自动出料功能的单晶炉炉体，包括上炉体、下炉体、分离板和进料筒，所述的进料筒连接在上炉体内，所述的上炉体的下端通过分离板与下炉体的上端相连，所述的分离板上设置有压力进料阀，所述的进料筒的上端连接有密封盖，所述的密封盖上设置有进气加压阀，所述的上炉体和下炉体的外侧还设置有保温套筒，所述的上炉体1的上端与进料筒之间设置有橡胶密封圈。本发明通过加压的方式使压力进料阀自动打开，把上炉体内的原料自动输送到下炉体，提高了单晶炉的生产效率。

技术领域

本发明属于一种单晶炉的部件，特别是一种带有自动出料功能的单晶炉炉体。

背景技术

单晶硅是具有完整的点整结构的晶体，是一种良好的半导体材料，目前被广泛应用于半导体器件以及太阳能电池的制造。单晶硅使用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成的，在市场上有很广阔的前景。目前单晶硅的拉制装置为单晶炉，它是由上炉体、下炉体、炉盖、翻板箱、副室五大部分组成，目前普遍采用的单晶炉的上炉体只有单层炉壁，由于在单晶炉的工作过程中长时间处于高温状态，会将上炉体烧坏，造成很大的损失。并且物料再从上炉体输送到下炉体的过程中效率十分低下，严重影响了单晶硅的生产效率。

发明内容

本实用新型需要解决的技术问题是通过加压的方式使压力进料阀自动打开，把上炉体内的原料自动输送到下炉体，提高了单晶炉的生产效率；提供一种带有自动出料功能的单晶炉炉体。

为解决上述的技术问题，本实用新型的结构包括上炉体、下炉体、分离板和进料筒，所述的进料筒连接在上炉体内，所述的上炉体的下端通过分离板与下炉体的上端相连，所述的分离板上设置有压力进料阀，所述的进料筒的上端连接有密封盖，所述的密封盖上设置有进气加压阀，所述的上炉体和下炉体的外侧还设置有保温套筒，所述的上炉体的上端与进料筒之间设置有橡胶密封圈，所述进料筒底部开设有过滤孔。

进一步：所述的压力进料阀包括第一阀筒、第二阀筒、阀盖、阀芯和第一弹簧，所述的第一阀筒与第二阀筒上下连接，所述的阀盖固定连接在第二阀筒的下端，所述的阀芯活动连接在第一阀筒和第二阀筒内，所述的阀芯通过第一弹簧与阀盖活动连接，所述的第二阀筒的侧壁上开通有出料口，所述的出料口下方的第二阀筒的侧壁上还设置有卡锁装置。

又进一步：所述的卡锁装置包括开设在第二阀筒上导向槽、第二弹簧、滑块、三角形卡头和设置在阀芯两侧的V字形卡槽，所述的滑块活动连接在导向槽内，所述的三角形卡头安装在滑块上，所述的滑块与导向槽之间还设置有第二弹簧。

再进一步：所述的第二阀筒内还设有两个气缸，所述的两个气缸固定安装在阀盖上。

采用上述结构后，本发明通过加压的方式使压力进料阀自动打开，把上炉体内的原料自动输送到下炉体，提高了单晶炉的生产效率；而且其还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明的结构示意图。

图2为压力进料阀的结构示意图。

图3为图2中A的放大图。

具体实施方式