[发明专利]一种光臂放大式一维线性测头

权利要求书

1.一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，包括：

激光源(1)，用于发射激光束(2)；

测头基座(4)，包括至少一个反射面(5)，用于反射所述激光源(1)发射的激光束(2)，所述测头基座(4)上设有用于检测的测杆(6)和测球(7)；

光电探测器(3)，用于接收所述测头基座(4)上反射面(5)反射的激光束(2)，所述激光束(2)入射到所述测头基座(4)上，所述测头基座(4)上的反射面(5)将激光束反射出去，并入射到所述光电探测器(3)上；所述光电探测器(3)能够旋转；

平移部件，用于使所述测头基座(4)做直线运动，或用于使所述测头基座(4)与光电探测器(3)共同做直线运动，以改变所述测头基座(4)反射面(5)上的激光束(2)反射点位置；

回复部件(9)，用于将所述测头基座(4)回复至初始位置，或将所述测头基座(4)与光电探测器(3)共同回复至初始位置；

处理系统，根据所述光电探测器(3)上所接收到的激光束(2)反射位置变化值，计算得到所述测球(7)的位移变化值。

2.根据权利要求1所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，还包括壳体(10)，所述激光源(1)固定在所述壳体(10)内，所述光电探测器(3)可旋转安装在所述壳体(10)内，所述平移部件包括位于所述壳体(10)内的导向槽(8)，所述测头基座(4)设有与所述导向槽(8)适配的滑块。

3.根据权利要求2所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，所述回复部件(9)设于所述壳体(10)内并用于将所述测头基座(4)回复至初始位置。

4.根据权利要求3所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，所述回复部件(9)为弹簧，其一端连接在所述测头基座(4)上、另一端连接在所述壳体(10)上。

5.根据权利要求1所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，还包括壳体(10)，所述平移部件和回复部件(9)为平行簧片结构，其中所述平行簧片结构包括连接在所述测头基座(4)上的连接块(11)和固定在壳体(10)上的座板(12)，所述连接块(11)和所述座板(12)之间连接有两个相互平行的簧片(13)，所述连接块(11)可相对所述座板(12)平行移动和复位。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，所述光电探测器(3)为位置敏感探测器。

7.根据权利要求5所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，所述光电探测器(3)为一维位置敏感探测器。

8.根据权利要求7所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，所述一维位置敏感探测器在位于所述壳体(10)的侧面上可旋转。

9.根据权利要求6所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，所述测头基座(4)为梯形台体，所述反射面(5)位于梯形台体侧面。

10.根据权利要求6所述的一种光臂放大式一维线性测头，其特征在于，所述测头基座(4)的形状为长方体，所述反射面(5)位于该长方体的一侧面上，所述激光源(1)发射的激光束(2)倾斜入射到所述反射面(5)上。