[发明专利]柔性显示基板的制造方法有效
申请号: | 201510658941.9 | 申请日: | 2015-10-12 |
公开(公告)号: | CN105355591B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 刘哲 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 制造 方法 | ||
本发明提供一种柔性显示基板的制造方法。本发明的柔性显示基板的制造方法,通过在承载基板上排布一层单层的聚苯乙烯微球,形成聚苯乙烯微球阵列膜,减少柔性基底与承载基板的直接接触;同时利用聚苯乙烯微球容易被激光烧蚀、在一定温度下能够被煅烧去除的优点,减少了激光剥离制程中高能量激光脉冲的使用频率,使得柔性基底更容易地从承载基板上剥离,在提高了显示器件可靠性的同时,有效降低了生产成本。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示基板的制造方法。
背景技术
目前,在显示技术领域,柔性显示器的显示技术种类较多,例如包括传统的液晶显示技术、双稳态液晶显示技术、有机发光二极管(organic light-emitting diode,OLED)显示技术、电泳显示技术、电致变色(Electrochromism,EC)显示技术与电致发光(electroluminescent,EL)显示技术等。其中柔性有机发光二极管(flexible organiclight-emitting diode,FOLED)显示器相比其他柔性显示器具有更多的优点,例如自发光显示、响应速度快、亮度高、视角宽、成本低等。而且,FOLED显示器是基于柔性有机材料的显示器,可以被卷曲、折叠、甚至作为可穿戴计算机的一部分,因此在显示效果好的便携产品和军事等特殊领域有非常广泛的应用。
传统的柔性显示器主要采用厚度小于100微米的柔性基材例如超薄玻璃、不锈钢薄膜以及塑料基材等。其柔性显示基板的制备方法一般包括:在承载基板上形成柔性基底,然后再形成显示单元,最后将柔性基底与硬质的承载基板剥离。
将柔性基底上制备的显示单元从承载基板上剥离下来后,得到质轻和可弯折、可绕曲特性的显示面板。在目前的工艺制程中,通常利用高能量的激光脉冲从承载基板(通常为玻璃载体)的背面入射的方法来剥离有机聚合物材料的柔性基底。在此过程中,激光的能量密度须足够大,才能引起界面膜层的分离,但如果能量密度过大,则很容易引起元器件的损伤,目前的激光剥离(Laser-lift-off)制程同时也存在能量利用率低的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性显示基板的制造方法,通过在承载基板上形成单层的聚苯乙烯微球阵列膜,有效地降低后续剥离制程中高能量激光脉冲的平均能量密度,避免元器件的热损伤,同时降低生产成本。
为实现上述目的,本发明提供一种柔性显示基板的制造方法,包括如下步骤:
步骤1、提供承载基板,在所述承载基板上排布一单层的聚苯乙烯微球,得到聚苯乙烯微球阵列膜;
步骤2、在所述承载基板、及聚苯乙烯微球阵列膜上形成柔性基底;
步骤3、在所述柔性基底上形成显示器件;
步骤4、从下方对所述承载基板进行激光照射,将所述柔性基底从所述承载基板上剥离下来。
所述步骤1中,采用提拉法、浮膜法、旋涂法、聚合法中的一种或其组合在所述承载基板上形成聚苯乙烯微球阵列膜。
所述聚苯乙烯微球的直径为200-1000nm。
所述聚苯乙烯微球阵列膜内聚苯乙烯微球均匀紧密排布、或者不规则地分散排布。
所述聚苯乙烯微球阵列膜内相邻聚苯乙烯微球之间的距离为0-10μm。
步骤4中,在进行激光照射前,在一定温度下,对所述承载基板煅烧,以去除聚苯乙烯微球阵列膜。
所述柔性基底为单层有机聚合物膜。
所述柔性基底为聚酰亚胺膜。
所述柔性基底为叠层结构。
所述承载基板为玻璃基板。
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