[发明专利]微机械的气体传感器装置和相应的制造方法

权利要求书

1.一种微机械的气体传感器装置，具有：

衬底(1；5)；

设置在衬底(1；5)上的多孔区域(10；10a)，该多孔区域带有背离衬底(1；5)的顶面(O)、面向衬底(1；5)的底面(U)、侧面(SF)，该侧面可被要感测的气体流过；

至少局部地遮盖顶面(O)的覆盖区域(50；50a)，其中，该覆盖区域(50；50a)具有一个或多个气体输入通道(T1、T2)，经由所述气体输入通道可把气体引入到多孔区域(10；10a)内；

用于产生电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)的信号产生机构(S)，所述电磁信号可以在多孔区域(10；10a)内部的气体中传播；

用于在气体中传播之后接收电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)的信号接收机构(E)；和

分析机构(100)，用来基于电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)在气体中传播时的变化来获取气体的至少一个化学的或物理的参数。

2.如权利要求1所述的微机械的气体传感器装置，其中，覆盖区域(50；50a)完全遮盖顶面(O)，气体可经由侧面(11；12)的至少一个区域(11；12)引入到多孔区域(10；10a)内。

3.如权利要求1或2所述的微机械的气体传感器装置，其中，信号产生机构(S)和信号接收机构(E)在顶面(O)嵌入到覆盖区域(50；50a)中。

4.如权利要求1或2所述的微机械的气体传感器装置，其中，信号产生机构(S)在顶面(O)嵌入到覆盖区域(50；50a)中，信号接收机构(E)在底面(U)嵌入到衬底(1；5)中。

5.如前述权利要求中任一项所述的微机械的气体传感器装置，其中，多孔区域(10a)具有空穴(K)，气体可引导通过该空穴，其中，信号产生机构(S)经过设计，从而电磁信号(W2′；W0′)可以在空穴(K)内部的气体中传播。

6.如前述权利要求中任一项所述的微机械的气体传感器装置，其中，设置有用来对多孔区域(10；10a)予以调处的调处机构(K)。

7.如前述权利要求中任一项所述的微机械的气体传感器装置，其中，衬底(1；5)是晶圆衬底(1)，且具有位于其上的第一氧化层(5)，该氧化层位于多孔区域(10；10a)的底面(U)上。

8.如前述权利要求中任一项所述的微机械的气体传感器装置，其中，覆盖区域(50；50a)具有至少一个第二氧化层(50；50a)。

9.如前述权利要求中任一项所述的微机械的气体传感器装置，其中，多孔区域(10；10a)由多孔硅或氧化的多孔硅构成。

10.如前述权利要求中任一项所述的微机械的气体传感器装置，其中，信号产生机构(S)被设计用于产生电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)，所述电磁信号的形式为交流电流、光辐射或热辐射。

11.一种用于制造微机械的气体传感器装置的制造方法，具有如下步骤：

提供衬底(1；5)；

在衬底(1；5)上构造多孔区域(10；10a)，该多孔区域带有背离衬底(1；5)的顶面(O)、面向衬底(1；5)的底面(U)、侧面(SF)，该侧面可被要感测的气体流过；

构造至少局部地遮盖顶面(O)的覆盖区域(50；50a)，其中，该覆盖区域(50；50a)具有一个或多个气体输入通道(T1、T2)，经由所述气体输入通道可把气体引入到多孔区域(10；10a)内；

构造用于产生电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)的信号产生机构(S)，所述电磁信号可以在多孔区域(10；10a)内部的气体中传播；

构造用于在气体中传播之后接收电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)的信号接收机构(E)；和

构造分析机构(100)，用来基于电磁信号(W2；W0；W2′；W0′)在气体中传播时的变化来获取气体的至少一个化学的或物理的参数。

12.如权利要求11所述的制造方法，其中，使得信号产生机构(S)和信号接收机构(E)在顶面(O)嵌入到覆盖区域(50；50a)中。

13.如权利要求11所述的制造方法，其中，使得信号产生机构(S)在顶面(O)嵌入到覆盖区域(50；50a)中，并使得信号接收机构(E)在底面(U)嵌入到衬底(1；5)中。