[发明专利]TO光电探测器同轴度检测装置及方法

权利要求书

1.一种TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于：所述TO光电探测器同轴度检测装置由二维位移平台（1）、旋转传动装置（2）、安装座（3）、CCD成像仪（4）和显示器（5）组成；

所述旋转传动装置（2）的底座与二维位移平台（1）的上端面连接，旋转传动装置（2）的传动轴与安装座（3）连接，安装座（3）位于旋转传动装置（2）的上方；所述传动轴的旋转轴与二维位移平台（1）的上端面垂直，安装座（3）能在传动轴的带动下旋转；所述安装座（3）用于夹持待检测的TO光电探测器，安装座（3）上对应TO光电探测器物理中心的部位与所述旋转轴重合；所述CCD成像仪（4）设置于安装座（3）上方；所述显示器（5）与CCD成像仪（4）电气连接；显示器（5）用于显示CCD成像仪（4）拍摄到的图像；所述图像上附加有一标记，所述标记在CCD成像仪（4）的成像区中的位置相对固定。

2.根据权利要求1所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于：所述标记以物理方式形成在CCD成像仪（4）的镜头光窗上。

3.根据权利要求1所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于：所述标记以物理方式形成在显示器（5）的屏幕上。

4.根据权利要求1所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于：所述标记由软件生成，与图像一起显示在显示器（5）的屏幕上。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于：所述标记的形状为一十字线。

6.根据权利要求1、2、3或4所述的TO光电探测器同轴度检测装置，其特征在于：所述标记为一圆圈和一十字线重叠而成的标靶，所述圆圈的圆心与十字线的中心重合。

7.一种TO光电探测器同轴度检测方法，所涉及的硬件包括待检测的TO光电探测器和TO光电探测器同轴度检测装置；

所述TO光电探测器同轴度检测装置由二维位移平台（1）、旋转传动装置（2）、安装座（3）、CCD成像仪（4）和显示器（5）组成；所述旋转传动装置（2）的底座与二维位移平台（1）的上端面连接，旋转传动装置（2）的传动轴与安装座（3）连接，安装座（3）位于旋转传动装置（2）的上方；所述传动轴的旋转轴与二维位移平台（1）的上端面垂直，安装座（3）能在传动轴的带动下旋转；所述安装座（3）用于夹持待检测的TO光电探测器，安装座（3）上对应TO光电探测器物理中心的部位与所述旋转轴重合；所述CCD成像仪（4）设置于安装座（3）上方；所述显示器（5）与CCD成像仪（4）电气连接；显示器（5）用于显示CCD成像仪（4）拍摄到的图像；所述图像上附加有一标记，所述标记在CCD成像仪（4）的成像区中的位置相对固定；

所述TO光电探测器包括壳体（6）和安装在壳体（6）上的芯片（7）；所述芯片（7）的光敏面由多个象限组成；所述光敏面的中心记为中心点；

其特征在于：按如下方法对TO光电探测器的同轴度进行检测：

1）将待检测的TO光电探测器设置在安装座（3）上，TO光电探测器的光敏面朝上；

2）通过二维位移平台（1）对旋转传动装置（2）的水平位置进行调节，使图像上显示出的中心点与所述标记重合；

3）通过旋转传动装置（2）传动TO光电探测器旋转；TO光电探测器旋转的过程中，观察中心点的轨迹，若由中心点的轨迹所形成的圆的半径越小，说明同轴度越好。

8.根据权利要求7所述的TO光电探测器同轴度检测方法，其特征在于：所述标记的设置方式在如下三种方式中择一采用：

方式一：以物理方式形成在CCD成像仪（4）的镜头光窗上；方式二：所述标记以物理方式形成在显示器（5）的屏幕上；方式三：所述标记由软件生成，与图像一起显示在显示器（5）的屏幕上。

9.根据权利要求8所述的TO光电探测器同轴度检测方法，其特征在于：所述标记的形状在如下两种图案中择一采用：

图案一：所述标记为为一十字线；

图案二：所述标记为一圆圈和一十字线重叠而成的标靶，所述圆圈的圆心与十字线的中心重合。