[发明专利]一种直接沉积于读出电路上的光电探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201510660346.9 申请日: 2015-10-13
公开(公告)号: CN105206701B 公开(公告)日: 2017-01-25
发明(设计)人: 肖恩·海因兹;王伟斌 申请(专利权)人: 山西国惠光电科技有限公司
主分类号: H01L31/09 分类号: H01L31/09;H01L31/0352;H01L31/18
代理公司: 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 代理人: 朱源,王勇
地址: 030006 *** 国省代码: 山西;14
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摘要:
搜索关键词: 一种 直接 沉积 读出 路上 光电 探测器 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:包括两组电极接触导体(3);

第一组电极接触导体(3)一一对应沉积于读出电路的各个像素单元(1)的上表面;

第二组电极接触导体(3)一一对应沉积于读出电路的各个平面金属界面环(2)的上表面;

第一组电极接触导体(3)的上表面沉积有底部载流子传输增强膜层(4);

底部载流子传输增强膜层(4)的上表面沉积有活性胶体量子点膜层(5);

活性胶体量子点膜层(5)的上表面沉积有顶部载流子传输增强膜层(6);

顶部载流子传输增强膜层(6)的上表面和第二组电极接触导体(3)的上表面共同覆盖有公共上电极层(7)。

2.根据权利要求1所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:底部载流子传输增强膜层(4)、顶部载流子传输增强膜层(6)均采用富勒烯制成。

3.根据权利要求1所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:活性胶体量子点膜层(5)采用硫化铅或碲化铅或碲化汞制成。

4.根据权利要求1所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:活性胶体量子点膜层(5)可采用同一材料制成,或者可分为若干组,不同组活性胶体量子点膜层(5)各自采用不同材料制成。

5.一种直接沉积于读出电路上的光电探测器的制备方法,该方法用于制备如权利要求1所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:该方法是采用如下步骤实现的:

a.选取读出电路,该读出电路具有若干个像素单元(1)和若干个平面金属界面环(2);

b.在读出电路的各个像素单元(1)的上表面一一对应沉积第一组电极接触导体(3);在读出电路的各个平面金属界面环(2)的上表面一一对应沉积第二组电极接触导体(3);

c.在第一组电极接触导体(3)的上表面沉积底部载流子传输增强膜层(4);

d.在底部载流子传输增强膜层(4)的上表面沉积活性胶体量子点膜层(5);

e.在活性胶体量子点膜层(5)的上表面沉积顶部载流子传输增强膜层(6);

f.在顶部载流子传输增强膜层(6)的上表面和第二组电极接触导体(3)的上表面共同覆盖公共上电极层(7)。

6.根据权利要求5所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤c、e中,底部载流子传输增强膜层(4)、顶部载流子传输增强膜层(6)均采用富勒烯制成。

7.根据权利要求5所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤d中,活性胶体量子点膜层(5)采用硫化铅或碲化铅或碲化汞制成。

8.根据权利要求5所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤d中,活性胶体量子点膜层(5)可采用同一材料制成,或者可分为若干组,不同组活性胶体量子点膜层(5)各自采用不同材料制成。

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