[发明专利]一种直接沉积于读出电路上的光电探测器及其制备方法有效
申请号: | 201510660346.9 | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN105206701B | 公开(公告)日: | 2017-01-25 |
发明(设计)人: | 肖恩·海因兹;王伟斌 | 申请(专利权)人: | 山西国惠光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/09 | 分类号: | H01L31/09;H01L31/0352;H01L31/18 |
代理公司: | 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 | 代理人: | 朱源,王勇 |
地址: | 030006 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直接 沉积 读出 路上 光电 探测器 及其 制备 方法 | ||
1.一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:包括两组电极接触导体(3);
第一组电极接触导体(3)一一对应沉积于读出电路的各个像素单元(1)的上表面;
第二组电极接触导体(3)一一对应沉积于读出电路的各个平面金属界面环(2)的上表面;
第一组电极接触导体(3)的上表面沉积有底部载流子传输增强膜层(4);
底部载流子传输增强膜层(4)的上表面沉积有活性胶体量子点膜层(5);
活性胶体量子点膜层(5)的上表面沉积有顶部载流子传输增强膜层(6);
顶部载流子传输增强膜层(6)的上表面和第二组电极接触导体(3)的上表面共同覆盖有公共上电极层(7)。
2.根据权利要求1所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:底部载流子传输增强膜层(4)、顶部载流子传输增强膜层(6)均采用富勒烯制成。
3.根据权利要求1所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:活性胶体量子点膜层(5)采用硫化铅或碲化铅或碲化汞制成。
4.根据权利要求1所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:活性胶体量子点膜层(5)可采用同一材料制成,或者可分为若干组,不同组活性胶体量子点膜层(5)各自采用不同材料制成。
5.一种直接沉积于读出电路上的光电探测器的制备方法,该方法用于制备如权利要求1所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器,其特征在于:该方法是采用如下步骤实现的:
a.选取读出电路,该读出电路具有若干个像素单元(1)和若干个平面金属界面环(2);
b.在读出电路的各个像素单元(1)的上表面一一对应沉积第一组电极接触导体(3);在读出电路的各个平面金属界面环(2)的上表面一一对应沉积第二组电极接触导体(3);
c.在第一组电极接触导体(3)的上表面沉积底部载流子传输增强膜层(4);
d.在底部载流子传输增强膜层(4)的上表面沉积活性胶体量子点膜层(5);
e.在活性胶体量子点膜层(5)的上表面沉积顶部载流子传输增强膜层(6);
f.在顶部载流子传输增强膜层(6)的上表面和第二组电极接触导体(3)的上表面共同覆盖公共上电极层(7)。
6.根据权利要求5所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤c、e中,底部载流子传输增强膜层(4)、顶部载流子传输增强膜层(6)均采用富勒烯制成。
7.根据权利要求5所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤d中,活性胶体量子点膜层(5)采用硫化铅或碲化铅或碲化汞制成。
8.根据权利要求5所述的一种直接沉积于读出电路上的光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤d中,活性胶体量子点膜层(5)可采用同一材料制成,或者可分为若干组,不同组活性胶体量子点膜层(5)各自采用不同材料制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的