[发明专利]复合耐火物及其制造方法

说明书

本发明提供一种复合耐火物及其制造方法，能够得到耐热冲击性优异的承烧板。所述复合耐火物作为化学成分，含有35～70质量％的SiC以及25～60质量％的金属Si，由具有纤维状的三维结构的第一Si－SiC烧结体部(1)和作为用于支撑上述纤维状的三维结构的基质的第二Si－SiC烧结体部(2)构成，具有上述第一Si－SiC烧结体部(1)被第二Si－SiC烧结体部(2)覆盖的结构，上述第一Si－SiC烧结体部和第二Si－SiC烧结体部均为气孔率为1％以下的致密材质。

技术领域

本发明涉及一种复合耐火物及其制造方法。

背景技术

要求电子器件(陶瓷电容器等)的热处理中使用的耐火物(承烧板等)具有耐热性、机械强度之类的特性。进而，近些年，从热能量效率、装窑效率的观点考虑，为了降低热容量的目的，正在寻求承烧板的薄壁化技术。另外，随着薄壁化，要求提高承烧板的耐热冲击性。

关于承烧板的薄壁化，公开了通过使用刮刀装置进行流延成型，制作厚度为0.2～2mm的承烧板的技术(专利文献1)。

专利文献1中，作为承烧板用的材质，使用氧化铝、二氧化硅、模来石、氧化镁、氧化锆、晶质堇青石、氮化硅、碳化硅等陶瓷、或者、以它们为主成分的材料。

但是，专利文献1等现有技术都存在如下问题，即，承烧板的耐热冲击性不充分，承烧板容易出现裂缝。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11－79853号公报

发明内容

本发明的目的在于解决上述问题，提供能够得到耐热冲击性优于现有技术的耐火物的技术。

为了解决上述课题而提出的技术方案1所涉及的发明是一种复合耐火物，其特征在于，作为所述复合耐火物的化学成分，含有35～70质量％的SiC以及25～60质量％的金属Si，所述复合耐火物由第一Si－SiC烧结体部和第二Si－SiC烧结体部构成，所述第一Si－SiC烧结体部具有纤维状的三维结构，所述第二Si－SiC烧结体部为用于支撑所述纤维状的三维结构的基质，所述复合耐火物具有所述第一Si－SiC烧结体部被第二Si－SiC烧结体部覆盖的结构，所述第一Si－SiC烧结体部和第二Si－SiC烧结体部均为气孔率在1％以下的致密材质。

技术方案2所述的发明根据技术方案1所述的复合耐火物，其特征在于，作为化学成分，含有40～65质量％的SiC以及30～55质量％的金属Si。

技术方案3所述的发明根据技术方案1所述的复合耐火物，其特征在于，上述第一Si－SiC烧结体部以金属Si为主成分，余量包含SiC，上述第二Si－SiC烧结体部以SiC为主成分，余量包含金属Si。

技术方案4所述的发明根据技术方案1所述的复合耐火物，其特征在于，上述第一Si－SiC烧结体部中的C元素的含有比率为5～45质量％，上述第二Si－SiC烧结体部中的C元素的含有比率为15～60质量％。

技术方案5所述的发明，特征在于，具有将技术方案1所述的复合耐火物层叠二层以上而得的结构。

技术方案6所述的发明，特征在于，是技术方案5所述的复合耐火物，在邻接的二层中所述具有纤维状的三维结构的第一Si－SiC烧结体部以与层叠面垂直的轴为中心具有(1°以上的)各向异性。

技术方案7所述的发明，特征在于，具有在技术方案1所述的复合耐火物上层叠具有三维网格状结构的多孔质层而得的结构。

技术方案8所述的发明，是使用技术方案1所述的复合耐火物的承烧板，其特征在于，由具有二维网格状骨架结构的致密质层形成，在承载被加热物的面具有贯通口，开口率合计为10％以上。