[发明专利]一种利用信息码识别的探针卡及方法有效
申请号: | 201510662503.X | 申请日: | 2015-10-14 |
公开(公告)号: | CN105606854B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 谢翠萍;莫保章 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;G01R31/00 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 利用 信息 识别 探针 方法 | ||
1.一种利用信息码识别探针卡的方法,其特征在于,所述方法包括:
S1:利用信息码生成器将探针卡的信息转换为信息码;
S2:将所述信息码扫描在探针卡上;
S3:在测试头上安装信息码识别器;
S4:利用所述信息码识别器读取所述探针卡上的所述信息码;
S5:利用信息码解码器将所述信息码转换为所述探针卡的信息。
2.根据权利要求1所述的利用信息码识别探针卡的方法,其特征在于,所述方法中:
将所述信息码扫描在所述探针卡上的步骤中,扫描的位置为所述探针卡的PCB基板表面。
3.根据权利要求1所述的利用信息码识别探针卡的方法,其特征在于,所述方法中:
安装所述信息码识别器于所述测试头上的位置必须与所述探针卡上的所述信息码位置相对应,以保证所述信息码能够被扫描。
4.根据权利要求1所述的利用信息码识别探针卡的方法,其特征在于,所述方法中:
所述信息码为一维码或二维码。
5.一种利用信息码识别的探针卡,其特征在于,所述探针卡包括:
PCB基板,处于所述探针卡的上部,是所述探针卡电路的载体;
探针结构,与所述PCB基板相连接,用于引出探针以连接外部电路;
信息码,处于所述PCB基板上表面,用于识别所述探针卡。
6.根据权利要求5所述的利用信息码识别的探针卡,其特征在于,所述探针卡中:
所述信息码是一维码或二维码。
7.一种利用信息码识别探针卡的WAT测试设备,其特征在于,所述测试设备包括:
探针卡,放置于晶圆上,用于测试所述晶圆的参数;
信息码,扫描于所述探针卡上表面,用于识别所述探针卡;
测试头,位于所述探针卡上方,用于安装信息码识别器;
信息码识别器,安装于所述测试头突出物表面,用于读取所述信息码信息;
载物台,处于所述设备最下部,用于支撑所述晶圆。
8.根据权利要求7所述的利用信息码识别探针卡的WAT测试设备,其特征在于,所述测试设备中:
所述信息码识别器的位置必须与所述信息码的位置相对应,以保证所述信息码能够被扫描。
9.根据权利要求7所述的利用信息码识别探针卡的WAT测试设备,其特征在于,所述测试设备中:
所述信息码是一维码或二维码。
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