[发明专利]射束引出狭缝结构及离子源

权利要求书

1.一种射束引出狭缝结构，其为与引出电极相邻的离子源等离子室的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述引出电极从所述射束引出狭缝结构的细长狭缝向射束引出方向隔着间隙配置，所述细长狭缝沿着与所述射束引出方向正交的狭缝长边方向延伸，

所述射束引出狭缝结构具备：

等离子室内侧表面，使用时与等离子接触；

等离子室外侧表面，与所述引出电极对置；及

细长狭缝表面，在所述射束引出方向上在所述内侧表面与所述外侧表面之间形成所述细长狭缝，

所述细长狭缝表面具备：等离子界面固定部，将所述等离子的等离子界面保持为固定；及等离子界面非固定部，将所述等离子的等离子界面保持为能够向所述射束引出方向移动，

所述等离子界面固定部形成于所述狭缝长边方向上的细长狭缝中央部，所述等离子界面非固定部形成于所述狭缝长边方向上的细长狭缝端部。

2.根据权利要求1所述的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述等离子界面固定部具备脊部，该脊部沿着所述狭缝长边方向延伸，

所述等离子界面非固定部具备平台部，该平台部与所述脊部相比在所述射束引出方向上具有更宽的宽度。

3.根据权利要求1或2所述的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述等离子界面固定部在与所述狭缝长边方向垂直的剖面具备向与所述长边方向及射束引出方向正交的所述细长狭缝的宽度方向突出的边缘部，

所述等离子界面非固定部在与所述狭缝长边方向垂直的剖面具备沿着所述射束引出方向延伸的平坦部。

4.根据权利要求1或2所述的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述等离子界面固定部具备将所述等离子界面保持为固定的单一的棱线部，

所述等离子界面非固定部具备确定将所述等离子界面保持为能够向所述射束引出方向移动的楔状区域的2个棱线部，

所述2个棱线部在所述狭缝长边方向上于所述细长狭缝中央部与所述细长狭缝端部之间的细长狭缝中间部从所述单一的棱线部分支，

所述楔状区域从所述2个棱线部的分支点朝向所述细长狭缝端部而所述射束引出方向上的宽度逐渐变宽。

5.根据权利要求1或2所述的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述细长狭缝具备：狭缝入口，形成于等离子侧且具有第1轮廓线；及狭缝出口，形成于引出电极侧且具有第2轮廓线，

所述第2轮廓线在所述细长狭缝的长边方向中央部与所述第1轮廓线共通，在所述细长狭缝的长边方向端部从所述第1轮廓线分离。

6.根据权利要求5所述的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述第2轮廓线位于向所述细长狭缝的宽度方向延伸的第2椭圆柱面上，

所述第1轮廓线位于向所述细长狭缝的宽度方向延伸且包含所述第2椭圆柱的第1椭圆柱面上，

所述第2椭圆柱在所述细长狭缝中央部与所述第1椭圆柱接触。

7.根据权利要求5所述的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述第2轮廓线位于向所述细长狭缝的宽度方向延伸的椭圆柱面上，

所述第1轮廓线位于与所述细长狭缝的宽度方向及长边方向平行的平面上，

所述椭圆柱在所述细长狭缝中央部与所述平面接触。

8.根据权利要求1或2所述的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述等离子界面固定部具备具有从60度至120度的范围选择的开口角的倾斜面，所述倾斜面设置于等离子室内侧表面侧。

9.根据权利要求1或2所述的射束引出狭缝结构，其特征在于，

所述等离子界面非固定部在等离子室内侧表面侧具备具有从20度以内的范围选择的开口角的面。