[发明专利]一种低能耗单晶炉在审
| 申请号： | 201510666388.3 | 申请日： | 2015-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN105177701A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 潘清跃;王平 | 申请（专利权）人： | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213200 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 能耗 单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种低能耗单晶炉，包括炉体和加热器，其特征在于：所述炉体内下端设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚底部固定有托杆机构；所述石墨坩埚上部设置有热屏，所述热屏包括内、外石墨导流筒，所述内、外石墨导流筒之间设置为均匀厚度的绝热层，所述内、外石墨导流筒和绝热层形成三明治结构；所述石墨坩埚外侧设置有加热器。
2.按照权利要求1所述的一种低能耗单晶炉，其特征在于：所述托杆机构包括坩埚托杆和固定在坩埚托杆顶端的坩埚托盘，所述坩埚托盘固定在石墨坩埚底部；所述坩埚托杆底端伸出炉体，所述坩埚托杆外侧套有托杆托套。
3.按照权利要求1所述的一种低能耗单晶炉，其特征在于：所述热屏上端外侧固定有石墨盖。
4.按照权利要求3所述的一种低能耗单晶炉，其特征在于：所述加热器与炉体之间设置有固化碳毡保温层。
5.按照权利要求1所述的一种低能耗单晶炉，其特征在于：所述炉体底部内侧设置有热反射层。
6.按照权利要求5所述的一种低能耗单晶炉，其特征在于：所述热反射层为石墨碳毡。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏华盛天龙光电设备股份有限公司，未经江苏华盛天龙光电设备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510666388.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
