[发明专利]脱气模块

权利要求书

1.一种脱气模块(10)，包括流体入口(34)、脱气部件(12)、流 体出口(36)以及真空泵(20)，其中，所述脱气部件(12)和所述真 空泵(20)集成一体以形成包括安装接合部(30)的单元，所述流体 入口(34)和所述流体出口(36)定位在所述安装接合部(30)处。

2.根据权利要求1所述的脱气模块，其特征在于，所述安装接合部 (30)由所述脱气部件(12)的壳体(14)的侧面形成。

3.根据权利要求2所述的脱气模块，其特征在于，所述真空泵(20) 附接至所述脱气部件(12)。

4.根据权利要求1所述的脱气模块，其特征在于，所述安装接合部 (30)由安装板(32)的一侧形成，所述真空泵(20)和所述脱气部件 (12)中的至少一者附接至所述安装板(32)。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的脱气模块，其特征在于，所 述真空泵(20)包括位于所述安装接合部(30)处的传送出口。

6.根据前述权利要求中的任一项所述的脱气模块，其特征在于，所 述脱气部件(12)包括设置在真空室(16)中的硅树脂软管(18)。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的脱气模块，其特征在于，设 置有流体泵(44)，所述流体泵(44)设置在所述脱气部件(12)与所 述流体出口(36)之间。

8.根据前述权利要求中的任一项所述的脱气模块，其特征在于，设 置有容器(50)，所述容器(50)布置在所述流体入口(34)与所述脱 气部件(12)之间。

9.根据权利要求8所述的脱气模块，其特征在于，在所述流体入口 (34)与所述容器(50)之间设置有截止阀(52)。

10.根据权利要求8或权利要求9所述的脱气模块，其特征在于， 所述容器(50)包括容器出口(54)，所述容器出口(54)具有与其相 关联的切换阀(56)。

11.根据权利要求10所述的脱气模块，其特征在于，所述容器出口 (54)布置在所述容器(50)的上部部段中。

12.根据权利要求10或权利要求11所述的脱气模块，其特征在于， 所述切换阀(56)适于使所述容器出口(54)与流体排放件(58)连接。

13.根据权利要求12所述的脱气模块，其特征在于，所述流体排放 件(58)位于所述安装接合部(30)处。

14.根据权利要求10至13中的任一项所述的脱气模块，其特征在 于，所述切换阀(56)适于使所述容器出口(54)与通风孔(60)连接。

15.根据权利要求14所述的脱气模块，其特征在于，所述通风孔 (60)包括大气连通部(64)和排放出口(66)。

16.根据权利要求15所述的脱气模块，其特征在于，设置有转换阀 (62)，所述转换阀(62)允许经由所述大气连通部(64)和所述排放 出口(66)中的一者通气。

17.根据权利要求15或权利要求16所述的脱气模块，其特征在于， 所述大气连通部(64)和所述排放出口(66)中的至少一者设置在所述 安装接合部(30)处。

18.根据前述权利要求中的任一项所述的脱气模块，其特征在于， 设置有集成的控制电子装置，所述集成的控制电子装置能够借助于插头 连接件进行连接。