[发明专利]位移测定方法和位移测定装置

说明书

本发明涉及位移测定方法和位移测定装置。具备：图案投影部；图案拍摄部，可相对于该图案投影部相对位移地设置；以及控制部，所述图案投影部能将位移检测图案投影到所述图案拍摄部，该图案拍摄部能对所投影的位移检测图案进行拍摄，所述控制部被构成为将所述图案拍摄部所拍摄的位移检测图案的图像巡回到所述图案投影部，将该图案投影部投影的位移检测图案更新为巡回后的位移检测图案，进而将更新后的位移检测图案投影到所述图案拍摄部，所述图案投影部和所述图案拍摄部间的相对位移通过将巡回而得到的图像中的所述位移检测图案的位移量除以巡回的数目来求取。

技术领域

本发明涉及使用图像来测定位移、偏角的位移测定方法和位移测定装置。

背景技术

以往，在位移、偏角的测定中，将规定的图案投影到图像传感器，检测其变化，由此，进行测定。

为了高精度地进行位移、偏角的测定，对成为基准的规定图案要求高精度，使用将电子束光刻作为原版的图案。

此外，在偏角的测定中，投影系统和拍摄系统的关系旋转，因此，当在投影系统和拍摄系统中存在失真时，伴随着旋转，图像的失真发生变化，在投影系统和拍摄系统中使用的图像（拍摄、投影）设备和光学系统中，要求低失真。

因此，能够高精度地检测位移、偏角的装置是高价的。

发明内容

本发明的目的在于提供能够以简单的结构高精度地测定位移的位移测定方法和位移测定装置。

为了达成上述目的，本发明的位移测定方法是在能进行相对位移的部位的一个部位设置图案投影部并在另一个部位设置图案拍摄部的位移测定装置进行的位移测定方法，具有：从所述图案投影部将位移检测图案投影到所述图案拍摄部的工序；将由该图案拍摄部取得的位移检测图案巡回到所述图案投影部的工序；利用巡回后的位移检测图案来更新该图案投影部的位移检测图案的工序；对更新后的位移检测图案进行投影的工序；以及求取巡回后由所述图案拍摄部取得的图像中的位移检测图案的位移量并将该位移量除以巡回数来得到两部位间的位移的工序。

此外，本发明的位移测定装置具备：图案投影部；图案拍摄部，可相对于该图案投影部相对位移地设置；以及控制部，所述图案投影部能将位移检测图案投影到所述图案拍摄部，该图案拍摄部能对所投影的位移检测图案进行拍摄，所述控制部被构成为将所述图案拍摄部所拍摄的位移检测图案的图像巡回到所述图案投影部，将该图案投影部投影的位移检测图案更新为巡回后的位移检测图案，进而将更新后的位移检测图案投影到所述图案拍摄部，所述图案投影部和所述图案拍摄部间的相对位移通过将巡回而得到的图像中的所述位移检测图案的位移量除以巡回的数目来求取。

此外，在本发明的位移测定装置中，所述相对位移是旋转位移。

此外，在本发明的位移测定装置中，所述相对位移是直线位移。

此外，在本发明的位移测定装置中，所述相对位移是包括旋转位移和直线位移的复合位移。

此外，在本发明的位移测定装置中，所述控制部在每次巡回时使图像旋转360°/巡回数。

进而，此外，在本发明的位移测定装置中，所述位移检测图案具有在中心部作为定心图案的圆图案、作为角度检测用的图案而在所述圆图案的周围与该圆图案同心地配设的线段图案。

根据本发明，是在能进行相对位移的部位的一个部位设置图案投影部并在另一个部位设置图案拍摄部的位移测定装置进行的位移测定方法，具有：从所述图案投影部将位移检测图案投影到所述图案拍摄部的工序；将由该图案拍摄部取得的位移检测图案巡回到所述图案投影部的工序；利用巡回后的位移检测图案来更新该图案投影部的位移检测图案的工序；对更新后的位移检测图案进行投影的工序；以及求取巡回后由所述图案拍摄部取得的图像中的位移检测图案的位移量并将该位移量除以巡回数来得到两部位间的位移的工序，因此，能够以简单的结构高精度地测定此外微小的位移。