[发明专利]晶圆夹盘

说明书

技术领域

本发明涉及夹盘技术领域，尤其是一种晶圆夹盘。

背景技术

现有的晶圆都是拿在手上进行测量，操作时不方便。

发明内容

为了克服现有的技术的不足，本发明提供了一种晶圆夹盘。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆夹盘，包括夹盘座，所述夹盘座中间设有圆形夹孔，夹孔周边套由橡胶套，所述夹盘座底部设有防震垫脚，侧面设有可伸缩的工件台。

本发明的有益效果是，本发明可对晶圆进行固定方便测量，并且提供稳定支撑，确保数据准确。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的主视图。

图2是本发明的侧视图。

图中1、夹盘座，2、夹孔，3、橡胶套，4、防震脚垫，5、工件台。

具体实施方式

如图1-2是本发明的结构示意图，一种晶圆夹盘，包括夹盘座1，所述夹盘座1中间设有圆形夹孔2，夹孔2周边套由橡胶套3，所述夹盘座1底部设有防震垫脚4，侧面设有可伸缩的工件台5。本发明可对晶圆进行固定方便测量，并且提供稳定支撑，确保数据准确。