[发明专利]爆炸喷涂制备IC装备铝合金零部件用高纯氧化钇涂层方法有效
| 申请号： | 201510672299.X | 申请日： | 2015-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN106591763B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 沈艳芳;冯博;华伟刚;杨阳;吴杰;熊天英;侯涛;李茂程;刘伟杰;郁忠杰;吴敏杰;唐伟东 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/11 | 分类号： | C23C4/11;C23C4/126 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 爆炸喷涂 制备 氧化钇涂层 高纯 铝合金零部件 关键零部件 致密 强腐蚀性气体 表面预处理 高能等离子 无涂层区域 氧化钇粉末 有效地减少 表面喷涂 厚度均匀 快速喷涂 喷涂区域 平均粒度 使用寿命 质量稳定 传统的 铝合金 热喷涂 热输入 零部件 防护 | ||
1.一种爆炸喷涂制备IC装备铝合金零部件用高纯氧化钇涂层方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)喷涂前对喷涂基体进行彻底清洗，并对基体待喷涂以外的区域进行有效地保护；
2)在爆炸喷涂装置的送粉器中加入待喷涂的高纯氧化钇粉体；
3)采用爆炸喷涂装置，在基体待喷涂部位进行喷涂，获得高纯氧化钇涂层；
爆炸喷涂工艺参数如下：喷涂气体使用氧气O2和乙炔C2H2，喷涂距离70～160mm，氧气和乙炔的流量比2:1～3:1，氧气和乙炔的充枪比30％～60％，送粉速率0.1～0.5g/s，点火频率1～10cycles/s；
高纯氧化钇粉末的化学成分按重量百分比为：Y2O3≧99.9％，粒度范围为2～50μm，高纯氧化钇粉末的粒度要求为：粒度<35μm，其质量百分含量大于95％，粒度35μm～45μm的粉末其质量百分含量小于3％，余量为粒度>45μm。
2.根据权利要求1所述的爆炸喷涂制备IC装备铝合金零部件用高纯氧化钇涂层方法，其特征在于，优选的爆炸喷涂工艺参数如下：喷涂气体使用氧气O2和乙炔C2H2，喷涂距离90～130mm，氧气和乙炔的流量比2:1～2.5:1，氧气和乙炔的充枪比30％～45％，送粉速率0.1～0.3g/s，点火频率3～6cycles/s。
3.根据权利要求1至2之一所述的爆炸喷涂制备IC装备铝合金零部件用高纯氧化钇涂层方法，其特征在于，高纯氧化钇涂层的厚度为50～500μm。
4.根据权利要求3所述的爆炸喷涂制备IC装备铝合金零部件用高纯氧化钇涂层方法，其特征在于，优选的高纯氧化钇涂层的厚度为100～300μm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳富创精密设备有限公司，未经沈阳富创精密设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510672299.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
