[发明专利]一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备

权利要求书

1.一种溅镀设备的靶材更换装置，其特征在于，包括，

支架；

安装于所述支架上的安装轴；

套设于所述安装轴外侧、且可绕所述安装轴的轴心线旋转的靶材安装体，所述靶材安装体具有至少两个用于安装靶材的靶材安装面，当所述靶材安装体绕安装轴的轴心线旋转时，每一个所述靶材安装面可在工作状态朝向和闲置朝向之间切换；

用于驱动所述靶材安装体绕所述安装轴的轴线旋转的第一驱动机构。

2.根据权利要求1所述的靶材更换装置，其特征在于，还包括电路模块，所述电路模块用于控制处于工作状态朝向的所述靶材安装面上的靶材与工作电路电连接、并控制处于闲置朝向的所述靶材安装面上的靶材与所述工作电路断开连接。

3.根据权利要求1所述的靶材更换装置，其特征在于，所述靶材安装体具有三个所述靶材安装面，且所述靶材安装体的横截面为中空的等边三角形，三个所述靶材安装面均朝向背离所述安装轴的方向。

4.根据权利要求1所述的靶材更换装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括，

安装于所述支架上、并设置于所述安装轴端面两侧的两个旋转卡盘，两个所述旋转卡盘的旋转轴线重合、且与所述安装轴的轴线平行，且在朝向所述靶材安装轴的一侧设有用于与所述靶材安装体配合连接的以带动所述靶材安装面旋转的连接机构；

输出轴与所述旋转卡盘连接以驱动所述旋转卡盘运动的第一驱动电机。

5.根据权利要求1-4任一项所述的靶材更换装置，其特征在于，所述支架上设有两条并行设置的滑轨，所述安装轴可沿所述滑轨滑动地安装于所述滑轨。

6.根据权利要求5所述的靶材更换装置，其特征在于，还包括用于驱动所述安装轴在靶材溅射工位和靶材切换工位之间运动的第二驱动机构。

7.根据权利要求6所述的靶材更换装置，其特征在于，所述第二驱动机构包括：

每一个所述滑轨上设有的螺纹丝杠，所述螺纹丝杠与所述滑轨的延伸方向平行，且所述安装轴上设有与所述螺纹丝杠螺纹配合的螺纹孔；

用于驱动所述螺纹丝杠旋转的第二驱动电机。

8.根据权利要求6所述的靶材更换装置，其特征在于，还包括与所述第一驱动机构和所述第二驱动机构信号连接、用于控制所述第一驱动机构和所述第二驱动机构启动或停止的控制模块。

9.一种磁控溅镀设备，包括用于在靶材进行溅镀过程中产生磁场的磁场模块，其特征在于，还包括如权利要求1-8任一项所述的靶材更换装置。

10.根据权利要求9所述的磁控溅镀设备，其特征在于，所述磁场模块设置于所述靶材安装体内。