[发明专利]带有弹性阻尼气室的静压空气轴承

权利要求书

1.一种带有弹性阻尼气室的静压空气轴承，其特征在于，该静压空气轴承（1）内设置有一空腔，所述空腔内设置有弹性薄板（3）并且通过所述弹性薄板（3）形成上下两个相对独立的阻尼气室，上阻尼气室的内壁上设置有第一环形垫圈（2），下阻尼气室的内壁上设置有第二环形垫圈（4）。

2.根据权利要求1所述的带有弹性阻尼气室的静压空气轴承，其特征在于：所述弹性薄板（3）上设置有阻尼孔（8），所述阻尼孔（8）设置1~2个，其外形为矩形或圆形。

3.根据权利要求1或2所述的带有弹性阻尼气室的静压空气轴承，其特征在于：所述静压空气轴承（1）的底面设置有4-12个节流器（7），每个节流器（7）上设置有节流孔（6），所述节流器（7）之间通过均压槽连接，所述均压槽采用直线或者曲线。

4.根据权利要求3所述的带有弹性阻尼气室的静压空气轴承，其特征在于：所述上阻尼气室的体积大于等于下阻尼气室的体积。