[发明专利]一种气体管路的加热方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种加热保温方法，尤其是一种体管路的加热方法。

背景技术

在半导体进程中使用的各种气体，特别是液体汽化和固体升华的气体，需保持一定的温度，以避免冷凝。这样不但保证了反应的正常进行，也避免了对设备的损伤。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明提供了一种气体管路的加热方法。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种气体管路的加热方法，首先采用铝铸模模具对气体管路进行包裹，然后在模具内穿入电加热材料进行加热，同时在模具体外层裹隔热保温材料，进行保温保护，在最外面加一个钣金罩。

优选的，所述的电加热材料为加热管或加热丝。

优选的，所述的模具为公、母插接结构。

本发明优点在于可以对一条管路整体控温，确保整个管路的温度是一致的，基本消除温差存在，控温准确，安装方便简捷，可以对形状特别的组件加三通、弯头等加热。

附图说明

图1是本发明模具的结构示意图。

图2是使用本发明的方法包裹气体管路后的结构示意图。

图3是去掉一边模具的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-图3所示：一种气体管路的加热方法，首先采用铝铸模模具对气体管路进行包裹，然后在模具内穿入电加热丝进行加热，同时在模具体外层裹隔热保温材料，进行保温保护，在最外面加一个钣金罩，一则美观，二则避免与其他部件干扰。所述的模具分公、母结构，即将同一个管路上的所有元器件都放置到一个加热模中，采用一个加热端子。在安装时，仅需将二者安装管路布局，对好位置后直接扣合就可。模具的内部需要严格按照加热管路元器件的布局结构及外廓进行加工。确保在扣合后，整个元器件在模具内，无裸露等现象存在。