[发明专利]保护膜检测装置和保护膜检测方法

权利要求书

1.一种保护膜检测装置，对于覆盖了保护膜的被加工物的上表面，检测期望的区域是否实际上被所述保护膜覆盖，其特征在于，该保护膜检测装置具有：

保持工作台，其对在上表面上覆盖有所述保护膜的被加工物进行保持；

液滴形成单元，其在保持在所述保持工作台上的所述被加工物的上表面上形成混入有构成所述保护膜的材料的液滴；

投光单元，其将来自光源的光照射至被加工物正面；

拍摄单元，其对所述被加工物的上表面进行拍摄；

图像保持单元，其以能够读出的方式保持由所述拍摄单元拍摄到的图像；

图像处理单元，其对由所述图像保持单元保持的图像进行处理；以及

检测单元，其根据由所述拍摄单元拍摄到的所述被加工物的上表面的图像信息，通过所述图像处理单元的图像处理，使用覆盖有保护膜的区域与由于未覆盖所述保护膜而形成有微细的液滴的凹凸且产生基于所述投光单元的照射光的米氏散射的区域之间的拍摄图像中的强度差，检测未覆盖所述保护膜的区域，

在所述图像处理单元的所述图像处理中，所述图像处理单元在上表面上形成液滴之前的所述被加工物的上表面图像与上表面上形成液滴之后的所述被加工物的上表面图像之间进行减法处理，取得差分信息，供所述检测单元检测未覆盖所述保护膜的区域，其中，在该差分信息中，排除了所述被加工物的上表面的、在液滴形成前与液滴形成后不存在变化的部分，而仅取出存在变化的部分的信息，由此，能够排除有可能产生与液滴的混淆的情况。

2.根据权利要求1所述的保护膜检测装置，其中，

所述拍摄单元选择性地检测红外线，

所述投光单元照射红外线。

3.根据权利要求1或2所述的保护膜检测装置，其中，

所述拍摄单元是照相机，该照相机对被加工物的上表面的一部分进行拍摄，

保持所述拍摄单元的保持部或者所述保持工作台具有能够使所述被加工物的上表面整体在所述拍摄单元进行拍摄的范围内移动的功能，

通过使被加工物与所述拍摄单元的相对位置或者角度发生变化，而对所述被加工物的上表面整体上的基于所述投光单元的照射光的米氏散射的状态进行拍摄。

4.一种保护膜检测方法，对于覆盖了保护膜的被加工物的上表面，检测期望的区域是否实际上被所述保护膜覆盖，其特征在于，该保护膜检测方法具有如下的步骤：

保持步骤，对在上表面上覆盖有所述保护膜的被加工物进行保持；

液滴形成前拍摄步骤，对被加工物的上表面照射来自光源的光，并对所述被加工物的上表面进行拍摄；

液滴形成步骤，在被保持的所述被加工物的上表面上形成混入有构成所述保护膜的材料的液滴；

液滴形成后拍摄步骤，对被加工物的上表面照射来自光源的光，并对所述被加工物的形成有液滴的上表面进行拍摄；

图像减法处理步骤，在借助所述液滴形成前拍摄步骤所拍摄到的图像与借助所述液滴形成后拍摄步骤所拍摄到的图像之间进行减法处理，取得差分信息；以及

检测步骤，根据所述差分信息，使用覆盖有保护膜的区域与由于未覆盖所述保护膜而形成有微细的液滴的凹凸且产生基于投光单元的照射光的米氏散射的区域之间的拍摄图像中的反射光的强度差，检测未覆盖所述保护膜的区域，

其中，在该差分信息中，排除了所述被加工物的上表面的、在液滴形成前与液滴形成后不存在变化的部分，而仅取出存在变化的部分的信息，由此，能够排除有可能产生与液滴的混淆的情况。