[发明专利]溶胶凝胶法制备高电导率CuCrO2薄膜的方法

权利要求书

1.一种溶胶凝胶法制备高电导率CuCrO₂薄膜的方法，其特征在于：包括以下步骤：

a.按铜、铬和镁的摩尔比为1：(0.95～0.99)：(0.01～0.05)称量乙酸铜、硝酸铬及乙酸镁，并将乙酸铜、硝酸铬及乙酸镁粉末依次加入到一定量的丙酸中，在40℃～50℃的温度下搅拌至完全溶解，获得摩尔浓度为0.15～0.25mol/L的混合均匀的前驱体溶液；

b.将a中所得的前驱体溶液在洁净的基片上镀膜，得到凝胶膜；

c.预烧b步骤所得凝胶膜以将其中的水、溶剂和有机物去除，得到无机薄膜；

d.将步骤c预烧得到的无机薄膜在氮气氛围中以不高于10℃/分钟的速率升温至600～1000℃，在氮气氛围中保温退火1～2小时，使薄膜晶化，最后随炉冷却至室温，即得CuCr_1-xMg_xO₂(0.01≤x≤0.05)薄膜。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：在所述的步骤a中，按铜、铬和镁的摩尔比为1：(0.96～0.98)：(0.02～0.04)称量乙酸铜、硝酸铬及乙酸镁。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤b中，所述基片为Al₂O₃(0001)单晶基片。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤c中，将薄膜放入管式炉中的预烧温度为250～600℃，预烧时间为10～30分钟。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于：步骤d中，将预烧得到的无机薄膜置于管式炉中，在氮气氛围中以5～10℃/分钟的速率升温至650～950℃，并在氮气氛围中退火1.2～1.5小时。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：步骤b和c可反复进行3—6次。