[发明专利]一种ITO和波片组合器件

权利要求书

1.一种ITO和波片组合器件，包括ITO、两片玻璃衬底和一片真零级波片，其中一片玻璃衬底的一面镀有ITO层；另一片玻璃衬底和真零级波片连接，真零级波片的非连接面镀有一层增透膜；然后两片玻璃衬底连接成一个组合器件，器件的整体透射波前畸变RMS<0.2λ632.8nm。

2.根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合的器件，其特征在于：真零级波片的延迟量为λ/4±λ/75674-700nm。

3.根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合的器件，其特征在于：ITO表面的电阻率为28Ω÷110Ω，反射率满足Rp，Rs<2.0%(674-700)nm,Rp,Rs<0.5%(440-674)nm,AOI=0-16°。

4.根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合器件，其特征在于：真零级波片的增透膜波长为440-700nm，满足Rp，Rs<0.5%(674-700)nm,Rp,Rs<0.9%(440-674)nm,AOI=0-16°。

5.根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合器件，其特征在于：整体反射率Rp，Rs＜1.5%(674-700)nm，Rp，Rs＜2.5%(470-674)nm，Rp，Rs＜3%(440-470)nm，AOI=0°~16°。

6.根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合器件，其特征在于：ITO层的最大电功率为5sec的峰值功率6瓦，连续功率3瓦。

7.根据权利要求1所述的一种ITO和波片组合器件，其特征在于：两片玻璃衬底的连接方式为光胶或者NOA89胶水胶合，才能满足整体的透射波前畸变RMS<0.2λ632.8nm。