[发明专利]一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置

说明书

本发明提供了一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置，包括炉内底盘，夹持柱和拨柱轴尖；所述炉内底盘为一圆盘，所述圆盘上沿圆周边缘均匀开有若干组夹持柱固定孔，所述圆盘中部开有拨柱轴尖孔；所述拨柱轴尖包括轴尖、拨柱和连接轴，所述轴尖的侧壁顶端固定有拨柱，所述轴尖的下端面固定有连接轴；所述夹持柱包括支撑柱、夹持拨片和夹持片，所述支撑柱安装到所述夹持柱固定孔处，所述夹持拨片位于所述拨柱正下方。本发明所述的用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置结构简单，操作方便，通过夹持片的设置改善了夹持面积，从而改善了夹持的稳定性，减少了因夹持不稳对单晶生长造成的影响，提高了工时利用率，且制造成本较低。

技术领域

本发明属于单晶硅生产设备领域，尤其是涉及一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置。

背景技术

区熔法生长单晶硅是目前生产单晶硅最先进的应用技术，而区熔单晶炉内的单晶夹持系统是重要的系统之一，其直接影响单晶的成晶，现有的夹持装置大多为点接触夹持，点接触夹持的缺点是受力面积小，夹持能力差，且对单晶被夹持处的形状有较严格的要求，从而阻碍了区熔单晶成晶率、合格率、工时利用率和产能的提高，不利于降低生产成本，因此，需要改善夹持装置。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置，以解决现有夹持装置夹持能力差、区熔单晶成晶率低等问题。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置，包括炉内底盘，夹持柱和拨柱轴尖；所述炉内底盘为一圆盘，所述圆盘上沿圆周边缘均匀开有若干组夹持柱固定孔，所述圆盘中部开有拨柱轴尖孔；所述拨柱轴尖包括轴尖、拨柱和连接轴，所述轴尖为一中空的圆柱体，所述中空圆柱体的纵截面为U形，所述轴尖侧壁顶端固定有向外侧延伸的拨柱，所述轴尖的下端面固定有连接轴，所述连接轴上设有驱动所述连接轴上下移动的电机，所述轴尖设置于所述拨柱轴尖孔内，且可在连接轴的带动下沿所述拨柱轴尖孔上下穿行，所述拨柱处的外缘直径大于所述拨柱轴尖孔的直径，可对拨柱轴尖起限位作用；所述夹持柱包括支撑柱、夹持拨片和夹持片，所述支撑柱的数量与所述夹持柱固定孔的组数相同，且所述支撑柱对应安装到所述夹持柱固定孔处，所述夹持拨片一端位于所述拨柱正下方，所述夹持拨片另一端与所述夹持片的一端相连，所述夹持拨片与所述夹持片的连接端可转动的连接于所述支撑柱的上部，所述夹持片另一端位于区熔硅单晶外侧，所述区熔硅单晶从所述轴尖内部长出。

进一步的，所述夹持片包括第一夹持片和第二夹持片，所述第一夹持片一端与所述夹持拨片相连，所述第一夹持片另一端与所述第二夹持片相连，所述第一夹持片与第二夹持片之间存在夹角，使所述第二夹持片在夹持区熔硅单晶时与区熔硅单晶的夹持面平行。

进一步的，所述夹持柱固定孔的数量至少为3组，每组夹持柱固定孔固定一个夹持柱。

进一步的，所述夹持柱固定孔的数量为3组，每组夹持柱固定孔固定一个夹持柱。

进一步的，所述炉内底盘上均匀开有若干个炉内底盘固定孔，所述炉内底盘固定孔中设有保护套。

进一步的，所述炉内底盘、夹持柱和拨柱轴尖的材质均为316L不锈钢。

相对于现有技术，本发明所述的用于区熔硅单晶炉单晶夹持系统的夹持装置具有以下优势：结构简单，操作方便，通过夹持片的设置改善了夹持面积，从而改善了夹持的稳定性，减少了因夹持不稳对单晶生长造成的影响，提高了工时利用率，且制造成本较低。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明炉内底盘的结构示意图；

图3为本发明拨柱轴尖的结构示意图。